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光導波路形成用樹脂

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紫外線硬化樹脂のため、いろいろな方法で導波路作製が可能です。

  • 直接露光法
  • RIE法
  • スタンパ法

特徴

  • 屈折率を0.001単位で指定可能
  • 優れた光透過性
  • 粘度調整が可能であり、スピンコート時の膜厚制御性が良好
  • 屈折率を1.43~1.62の範囲、±0.005の精度で制御可能

【適用検討例】光導波路のクラッド

平坦性・屈折率整合性に優れ、はんだ耐熱グレードもあり、層間絶縁膜にも適用可能です

直接露光法による導波路作製例
直接露光法による導波路作製例
多段の導波路の作製例
多段の導波路の作製例
(クラッド/MM導波路コアにエポキシ樹脂を使用)
平坦性に優れるため、多段の導波路作成 にも適しています

仕様

コア/クラッド材セット(*1)

主成分 屈折率@830nm 特徴
エポキシ系
コア:1.53±0.005
クラッド:1.51±0.005
コア:粘度=2,200mPas Tg=222℃
Δn=1.3%(@830nm)
クラッド:粘度=2,900mPas Tg=200℃
*1...「医薬用外劇物」含有製品です(取扱いに関しては、SDSをご参照下さい)

屈折率調整タイプ

主成分 屈折率調整範囲 特徴
エポキシ系 nD=1.43~1.62 粘度調整可能
(スピンコートの膜厚制御が容易)
表の特性値はサンプル測定値であり保証値ではございません。

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