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ナノインプリント用樹脂

高精度、高スループットな高屈折率ナノインプリント樹脂

光学接着剤担当 TEL 0422-47-8237 (受付9:00~17:00)土日祝日年末年始を除く平日
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ナノインプリントとは?

ナノスケールの凹凸パターンを形成したスタンパーを樹脂が塗布された基板に押し当て、加熱または光硬化を行って樹脂に凹凸パタンを転写する加工技術です。
従来のナノスケール加工技術と比較し、簡便かつ低コストに加工できる事から、次世代の大量生産技術として注目されています。

UVナノインプリント作製概念図

UVナノインプリント作製概念図

 

本樹脂は高屈折率を特徴としたUVナノインプリント用樹脂であり、高屈折率による機能性精密パターン作製に適用できます。

作製例

ホールパターン
Hole Pattern
ラインアンドスペースパターン
Line & Space pattern
ピラーパターン
Pillar pattern


ナノインプリント用樹脂3つの特徴

高精度加工を実現

UVナノインプリントは加熱工程が不要であり、ナノレベルの高精度なインプリントが可能となります。

樹脂特性のカスタマイズ可能

弊社の光学接着剤作製で培われた接着剤の特性調整技術により、屈折率、粘度等特性のカスタマイズが可能です。

高透過率

高屈折率な材料であるにもかかわらず、波長400nm帯でも高透過率を実現しています。

特性

  項目 条件 単位 #18210
硬化前の性状 粘度 25℃ mPa ・s 15
硬化条件 プリベーク - - 115℃ 1min
紫外線硬化 - - 100mW/cm2
5min
硬化後の特性 屈折率 25℃ - 1.77(405nm)
アッベ数 25℃ - 30
ガラス転移温度 動的粘弾性:tanδmaxの温度 - 100
透過率 厚さ2μm 94(450nm)
95(540nm)
95(630nm)

ご注意:データはあくまで測定値で、保証値ではありません。

 

精密性と高透過性

インプリントパタン写真

 インプリントパターン写真

 

転写したナノインプリントパタンのSEM写真(ピラーパターン)です。精度よくモールドのパタンが転写されています。

透過率の波長依存性のグラフ

透過率の波長依存性

 

波長400nm以上の透過率は90%以上と高くなっています。

 

その他、ライン、ドット、ホールなどのパターンのほか、3次元のマイクロレンズアレイ、モスアイ、段差など豊富なパターンと最小線幅20nmから数μmまで広い範囲をカバーします、ナノインプリント用モールドを取扱っております。詳しくはこちらへ

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