NTT-AT 先端技術商品紹介サイト Leading-Edge Key Technology Product Information
ホーム > 分析関連商品 > 分析関連商品 > 分析機器用標準試料ラインナップ > 分析機器用標準試料

分析機器用標準試料

ナノテクビジネスユニット TEL 046-247-0852 (受付9:00~17:00)土日祝日年末年始を除く平日
お問い合わせフォーム

分析機器校正用の標準試料

分析機器の校正用に各種標準試料をそろえております。
分析機器に合わせて試料を選択ください。
 

スケール
AFM,光学顕微鏡、走査プローブ等の各種分析機器に必要なスケールをそろえております。
 

チャート
顕微鏡の解像度を評価するための各種チャートをそろえております。

 

スケール

AFM高さ校正用標準試料

index_scale_1.jpg
適応分析:AFM
お使いの原子間力顕微鏡(AFM:atomic force microscope)のÅオーダでの高さ方向の校正、装置性能の評価を行うことができます。
※この標準試料は、独立行政法人 製品評価技術基盤機構・国内標準物質・登録品です。

 詳細ページはこちら

50nm面内スケール

index_scale_4.jpg

適応分析:AFM,SEM
世界で初めて、校正された50 nmピッチの面内スケールです。 計量標準総合センター(NMIJ)において校正し、お客様へ納品いたします。 

詳細ページはこちら

測長用スケール

適応分析:SEM,AFM,TEM
微細パタン評価に不可欠な走査プローブ顕微鏡等の長さや角度の較正に最適です。

詳細ページはこちら

微細ビーム幅計測用スケール

適応分析:SEM,TEM,SIMS,FIB,X線フォトリソグラフィー 
電子ビーム、イオンビーム、X線の微細なビームサイズの測定を可能にしました。

詳細ページはこちら

深さ方向分析用標準試料

適応分析:SIMS、AES、XPS、XRF 
SIMS、AES、XPS、XRF分析などの深さ方向分解能評価・距離測定・感度評価に用いられる多層膜標準試料です。

詳細ページはこちら

 

チャート

X線チャート

index_scale_3.jpg
適応分析:X線顕微鏡
最小パタン寸法50nm付近から、用途に合わせて3タイプを用意しました。 

詳細ページはこちら

 

製品一覧

閉じる

サービス一覧

材料分析サービス

材料分析サービス

閉じる

課題解決のご提案一覧

閉じる

ダウンロード一覧

閉じる