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測長用スケール

営業部門 TEL 046-270-2075 (受付9:00~17:00)土日祝日年末年始を除く平日
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  • 微細パタン評価に不可欠な走査プローブ顕微鏡等の長さや角度の較正に最適
  • 低価格・短納期 

※ ピッチ100nm以下の極微細パタンについても特注で対応いたします。

特徴・仕様

  垂直タイプ(AS100P-D) 傾斜タイプ(AS200P-A)
用途 長さ校正、プローブ形状評価 角度校正
特徴
  • Si(110)基板で異方性エッチングを利用のため、パタン形状が垂直で正確
  • 直行度が高いため正確なプローブ形状測定が可能
  • Si(100)基板で異方性エッチングを利用のため、パタン傾斜角度が54.7度で正確
  • 傾斜角度が54.7度と正確なため装置再現性確認に最適
傾斜角 90度 54.74度
パタン種類 1:1L&S (パタン領域外は凹) 400 nmL&S
400 nmグリット
200 nmL&S
100 nmL&S 以上4種
ライン(凸部)幅 50~250 nm 100~400 nm
パタン深さ 125 nm±20% 100~200 nm(出来合い)
パタン領域 200μm×200μm 184μm×184μm×4(種)
基板 Si 10mm×10mm×0.525mmt Si 10mm×10mm×0.525mmt

*低価格・短納期で提供いたします。お気軽にお問合せ下さい。

垂直タイプ(AS100P-D)

100nmピッチL&S断面
100nmピッチL&S断面

傾斜タイプ(AS200P-A)

AFM観察像 (単位:横方向:μm,縦方向:nm)

400nmピッチL&Sパタン
400nmピッチL&Sパタン
800nmピッチグリッドパタン
800nmピッチグリッドパタン

特注品の例

TEM観察像

50nmピッチL&S断面
50nmピッチL&S断面

 

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