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0.1mmピッチ4探針プローブ

小さなサンプルの電気評価に便利です。電気抵抗測定プローブ。

営業部門 TEL 046-270-2075 (受付9:00~17:00)土日祝日年末年始を除く平日
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探針間隔0.1mmの4探針電気抵抗測定プローブです。
空間分解能を,従来プローブに比べ1ケタ向上させ,サブミリ領域の電気抵抗測定を可能にしました。

パターニングせずに薄膜材料の抵抗測定が可能です。

測定方式
直流4探針
空間分解能
約0.5mm
標準探針
Si用WC探針(測定対象素材に応じてご相談を承ります)
測定対象
各種半導体膜、金属膜の他、導電性塗布膜、透明導電膜、粉末冶 金材料、傾斜機能材料など各種導電性材料。
 
0.1mmピッチ4探針プローブ

 

5mm角の一様な抵抗値のポリシリコン薄膜の測定例です。
従来のピッチプローブでは正確な値が測定できないのに対して、開発した0.1mmピッチプローブでは周辺0.5mm程度の領域を除いて、正確なシート測定が可能です。

測定例

 

測定例


本プローブは通常の測定系(電流源、電圧計)がそのままご利用いただけます。本プローブ専用の簡易測定治具や手動測定装置も用意しています。本プローブは平坦なシリコンや金属膜などの測定用ですが、特殊用途の測定プローブ作成に関してもご相談に応じます。

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0.1mmピッチ4探針プローブ 1.5MB

 

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