- 電子ビーム、イオンビーム、X線の微細なビームサイズの測定を可能にしました。
- nm単位でビーム幅が計測できます。
- 1次元、2次元計測用がございます。
（a）スケールの構造と
（b）透過した電子線強度
（b）透過した電子線強度
電子ビームサイズの測定例
引用文献：
K.Kurihara,K.Iwadate,H.Namatsu,
M.Nagase,H.Takenaka and K.Murase,
"An Electron Beam Nanolithography System and its Application to Si Nanofabrication",
Jpn.J.Appl.Phys.,34（1995）6940
K.Kurihara,K.Iwadate,H.Namatsu,
M.Nagase,H.Takenaka and K.Murase,
"An Electron Beam Nanolithography System and its Application to Si Nanofabrication",
Jpn.J.Appl.Phys.,34（1995）6940
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