NTT-AT 先端技術商品紹介サイト Leading-Edge Key Technology Product Information
ホーム > 分析関連商品 > 分析関連商品 > 分析機器用標準試料ラインナップ > AFM(原子間力顕微鏡)高さ校正用標準試料

AFM(原子間力顕微鏡)高さ校正用標準試料

営業部門 TEL 046-270-2075 (受付9:00~17:00)土日祝日年末年始を除く平日
お問い合わせフォーム

超高真空中で加熱することにより、シリコン表面の原子レベルの高さを有するステップの集合状態を制御できることが知られています。Si(111)面の場合、原子ステップの高さは結晶学的に0.31nmと決まります。
本試料を用いることで、お使いの原子間力顕微鏡(AFM:atomic force microscope)のÅオーダでの高さ方向の校正、装置性能の評価を行うことができます。


※この標準試料は、独立行政法人 製品評価技術基盤機構・国内標準物質・登録品です。

AFM(原子間力顕微鏡)高さ校正用標準試料

試料の大きさは10mm×10mmで、どのようなAFM装置でも使用いただけます。試料中央部はパッケージ等に接触しないようにお届けします。
湿度、浮遊汚染物等に注意して保管いただければ、6ヶ月以上は利用いただけます。

利用法

  • 装置の高さ校正
  • 装置性能のチェック

本試料と同様な表面構造を用いた高さ校正方法については、J.Vac.Sci. & Technol.,A14,1228(1996)を参考にして下さい。具体的な校正方法は装置購入先にご確認下さい。
AFM(原子間力顕微鏡)高さ校正用標準試料
左図のような表面形状が観察され、各々のステップ高さが0.31nmとなっています。
ステップの交差点ができるだけ少なく、加熱処理時にSiCパーティクルができるだけ発生しないように制御して作製されています。

AFM(原子間力顕微鏡)高さ校正用標準試料 仕様等

品  名: 原子ステップ高さを有するAFM高さ校正用標準試料
商品番号:S-AFM-1
試  料: シリコン(111)基板
試料サイズ: 10mm×10mm×(基板厚さ)
ご希望の試料サイズがありましたら、別途ご相談下さい。
有効面積: 中央部6mm×6mm
添付資料: AFM観察結果(1μm×1μm)
観察保証期間: 納品後6ヶ月
ただし、乾燥不活性ガスまたは乾燥剤により湿度管理されたデシケータ等に保管して下さい。また、測定中に付着したごみは、乾燥した不活性ガス(窒素、等)でブローして除去することをおすすめします。AFM測定条件の設定により表面構造を劣化させたり、有機薬液・水等で洗浄した場合の変化は保証しかねます。
定  価: 15万円
納  期: 5個以下の一括注文の場合4週間以内
個数が多い場合は別途検討いたします。

(参考)独立行政法人 製品評価技術基盤機構 標準物質総合情報システム

 

資料ダウンロード

AFM(原子間力顕微鏡) 高さ校正用標準試料 595KB

 

製品一覧

閉じる

サービス一覧

閉じる

課題解決のご提案一覧

閉じる

ダウンロード一覧

閉じる