位置決め装置高分解能フィードバックシステム大気用

光学式リニアスケールをステージ内部に内蔵し、シグマテック社独自の
フィードバック回路を搭載した高分解能フィードバックステージシステムです。

本製品はシグマテック社製です。
本ホームページに記載の内容は、予告なしに変更する場合があります。

◆高分解能フィードバックステージシステムの特徴

リニアスケールを内蔵した電動自動ステージとクローズドループ制御機能を搭載したコントローラの組み合わせにより、精度の高い位置決め再現性を実現している点と位置決め後、自己位置を保持する機構が備わっております。

各種、精密位置決めが必要なアプリケーションに応用可能であり、大気中に加え、真空装置内部でも使用できるタイプもご用意しています。

◆適用例

PLCと光ファイバアレイの接続、光デバイスと光ファイバの接続といった精密に位置決めを行う接続装置の位置あわせ機構部分

顕微鏡視野にある複数の細胞を一定の時間間隔で繰り返し観察する高精度な繰り返し位置精度が求められるような顕微鏡ステージ

◆ステージ分解能

1nm	ステッピングモータで1nm分解能の位置決めが可能となったハイエンドシリーズ
5nm	高分解能とスピードを両立した位置決め装置
10nm	高分解能で豊富なラインナップの10nm分解能の位置決め装置
Subμ	ロングストロークを用意したエントリーモデルの位置決め装置

◆ステージテーブルの大きさ

60mm□、80mm□、120mm□、160mm□、120mm×170mm^（*）から選べます。
電動自動ステージ単体のほか、測定システム（対向6軸制御など）としても承ります。
^（*）□120mm×170mmはサブミクロン分解能のみ。

◆高分解能　1nmフィードバックシステム

ステッピングモータで1nm分解能の位置決めが可能となったハイエンドシリーズです。

特徴

1nm分解能の位置決めを達成したハイエンドフィードバックステージシステムです。駆動部分にピエゾアクチュエータとステッピングモータを使用している粗微動構造ではなく、新たにハーモニックドライブを使用したステッピングモータ単体での送り機構により、粗微動構造では実現が難しかったストローク（20mm/40mm/50mm）全域を1nmステップにて送ることが可能になりました。

ラインナップ　～高分解能 1nmフィードバックシステムシリーズ～

1nmフィードバックステージ FS-1020SPX(MD)	1nmフィードバックステージ FS-1040SPX(MD)	1nmフィードバックステージ FS-1050SPX(MD)

1nmフィードバックステージコントローラ FC-901(MD)A(モータドライバ内蔵)

◆高分解能　5 nmフィードバックシステム

高分解能とスピードを両立した位置決め装置です。
ボールねじのみで5nmの分解能を実現し、 5nm分解能ステップ位置決めがストローク内全域で可能になりました。

特徴

減速機構を必要としないシンプルな構成で5nm分解能の位置決めが可能で、微細な5nmステップ送りと移動速度（5mm/s）を両立したシステムです。コントローラは2軸制御が可能でステージを組み合わせてXY軸システムを構築することができます。

ラインナップ　～高分解能 5nmフィードバックシステムシリーズ～

5nmフィードバックステージ FS-1020SPX FS-1020SPXY	5nmフィードバックステージ FS-1040SPX FS-1040SPXY	5nmフィードバックステージ FS-1050SPX FS-1050SPXY

5nmフィードバックステージコントローラ FC-601A (モータドライバ内蔵)

◆高分解能　10 nmフィードバックシステム

高分解能で豊富なラインナップの10nm分解能の位置決め装置です。

特徴

10nm分解能の位置決め装置が容易に扱えます。ステージラインナップはストローク20mm～150mmまでの直動ステージ、その他回転ステージとZ軸ステージも用意しています。10nmという高い分解能を選択しながらロングストロークや専用ステージも選べることで、ユーティリティとユーザビリティを両立した製品となっています。

ラインナップ　～高分解能 10nmフィードバックシステムシリーズ～

10nmフィードバックステージ FS-1020PX / FS-1020PXY	10nmフィードバックステージ FS-1040PX / FS-1040PXY	10nmフィードバックステージ FS-1050PX / FS-1050PXY

10nmフィードバックステージ FS-1100PX / FS-1100PXY	10nmフィードバックステージ FS-3150PX / FS-3150PXY	Z軸用10nmフィードバックステージ FS-1005PZ / FS-1010PZ

10nmフィードバックステージコントローラ FC-501A (モータドライバ内蔵)	10nmフィードバックステージコントローラ FC-502 (モータドライバ外付)

◆Subμ（サブミクロン）フィードバックシステム

ロングストロークを用意したエントリーモデルの位置決め装置です。

特徴

高分解能のフィードバックステージシステムです。 50nm/100nm分解能をコントローラにより選択することが可能で、直動ステージだけではなく、回転やZ軸ステージをラインナップし、組合せにより様々なシステムを構築することができます。より扱い安く、そしてフィードバック可能なシステムです。

ラインナップ　～Subμ（サブミクロン）フィードバックシステムシリーズ～

Subμフィードバックステージ FS-1020X / FS-1020XY	Subμフィードバックステージ FS-1040X / FS-1040XY	Subμフィードバックステージ FS-1050X / FS-1050XY

Subμフィードバックステージ FS-1100X / FS-1100XY	Subμフィードバックステージ FS-3150X / FS-3150XY	Z軸用サブミクロンフィードバックステージ FS-1005Z / FS-1010Z

微小回転用フィードバックステージ FS-1120 θ	ロングスケールSubμ フィードバックステージ FS-3000 / FS-2000シリーズ

Subμフィードバックステージコントローラ FC-101 (モータドライバ内蔵)	Subμフィードバックステージコントローラ FC-102 (モータドライバ外付)	Subμフィードバックステージコントローラ FC-401 (モータドライバ内蔵)

Subμフィードバックステージコントローラ FC-402 (モータドライバ外付)