化学分析
| 化学分析 | 無機・有機分野の極微量分析から主成分分析まで幅広く対応しております |
|
ppbからppｔオーダーの極微量元素・イオンの定量分析
|
||
|
Sweeping-TXRFによるマッピング
|
適用例 |
|
| 誘導結合プラズマ質量分析（ICP-MS） | ||
| ・ウエハの汚染分析 | ||
| ・誘導結合プラズマ質量分析（ICP-MS） | ||
| ・気相分解法(VPD)-誘導結合プラズマ質量分析(ICP-MS) | ||
| ・ウエハ表面上の金属汚染評価（汚染回収方法と評価事例） | ||
| ・ウエハ表面上の金属汚染評価2 | ||
| ・ウエハ表面上の金属汚染評価3 | ||
| ・マイクロ波分解 | ||
| 全反射蛍光X線分析（TXRF) | ||
| ･ウエハの汚染分析 | ||
| ･全反射蛍光X線分析（TXRF) | ||
| ･全反射蛍光X線分析 全面高速マッピング (Sweeping-TXRF) | ||
| イオンクロマトグラフ分析（IC） | ||
| ・イオン分析-基板表面の付着イオン | ||
| ・クリーンルームエアの分析 | ||
| ・イオンクロマトグラフ | ||
| ガスクロマトグラフ質量分析（GC-MS） | ||
| ・クリーンルームエアの分析 | ||
|
||||
|
||||
|
||||
|
||||
