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物理分析

デバイスや材料の形態・構造、および結晶構造解析を行っております

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形態観察

デバイス・材料の形態・構造・組成の評価

形態観察

透過電子顕微鏡観察例

C60を内包したSWCNT


適用例

 透過電子顕微鏡(TEM)

 

FIB-SEM

 

 分析電子顕微鏡(FE-TEM)

 

走査電子顕微鏡(SEM)

 

原子間力顕微鏡(AFM)

表面分析

nmからμmオーダーの極微小、極表面の分析

表面分析
 
低エネルギー二次イオン質量分析測定例
化合物超格子構造の深さ方向分析の事例

適用例

二次イオン質量分析(SIMS)

 

全反射蛍光X線分析(TXRF)


 

オージェ電子分光分析(AES)


 

X線光電子分光分析(XPS)


 

原子間力顕微鏡(AFM)


 

X線マイクロ分析(EPMA)

構造解析

デバイス・材料の形態・構造・組成の評価


構造解析

 透過電子顕微鏡観察例
CBEDパターンと計算パターンの比較

適用例

透過電子顕微鏡(TEM)

X線回折(XD)

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