NTT-AT 先端技術商品紹介サイト Leading-Edge Key Technology Product Information
ホーム > 材料分析サービス > 物理分析 > 表面分析 > 深さ方向データ処理法  オージェ電子分光法、X線光電子分光法

深さ方向データ処理法  オージェ電子分光法、X線光電子分光法

営業部門 TEL 046-270-2075 (受付9:00~17:00)土日祝日年末年始を除く平日
お問い合わせフォーム

電子分光法を用いた深さ方向分析においては、ピークのエネルギー位置が重なる場合に実際には存在しない深さ方向プロファイルが得られることがあります。当社では、状況に応じてTFA(ターゲットファクターアナリシス法)処理やLLS(最小二乗平均法)処理を行い、重畳するピーク成分を分離し、目的元素のピーク成分を抽出することにより、より実際の分布に近いデータを提供します。

各元素のオージェスペクトル TiN/Tiの深さ方向強度プロファイル

TiN層を含むオージェ深さ方向分析では、TiとNのピークの重畳により、Nの存在しない領域でもNが存在するかのように見えることがあります。この例では、380eV付近のピークからTiピーク成分をTFA法を用いて分離処理を行うことにより、Ti層でのN強度はゼロになり、実際の試料構造を反映したデータが得られることを示しています。

 

製品一覧

閉じる

サービス一覧

材料分析サービス

材料分析サービス

閉じる

課題解決のご提案一覧

閉じる

ダウンロード一覧

閉じる