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半導体同位体工学を支えるSIMS評価技術

二次イオン質量分析

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慶応大・伊藤公平先生が提唱する半導体同位体工学

シリコンの3つの同位体を分離し、原子レベルで同位体を制御して新しい半導体材料を開発するのが、「半導体同位体工学」です。NTT-ATでは、高度SIMS分析技術を通して、半導体同位体工学を推進する伊藤プロジェクトに貢献しています。

このようなNTT同位体を評価するためには、SIMSの高分解能な測定技術および高度な解析技術が不可欠です。

半導体同位体工学
 

同位体超格子構造のSIMS分析


 

nat.SiO2/28SiO2構造の30SiのSIMS分析


 

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