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指定特定領域でのEDS分析 透過電子顕微鏡

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FIB加工法はサブミクロンの特定箇所の断面TEM試料作製に威力を発揮します。下記の例は、コンタクト部での異常(アロイスパイクの発生)を観察したものです。また、EDXを用いることにより数nm領域の組成を調べる事も可能です。

この例では異常部分においてAlの発生が確認されました。

異常コンタクト (アロイスパイク発生)
異常コンタクト
(アロイスパイク発生)
EDX測定場所
EDX測定場所
特性X線エネルギー(keV) EDX測定結果

 

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