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クリーンルームエアの分析

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クリーンルーム空気中の分子状汚染物質(AMC)の調査を行います。

高感度なICP-MS、イオンクロマトグラフ、ガスクロマトグラフ質量分析を用いてクリーンルーム大気中の分子状汚染物質(AMC:Airborne Molecular Contaminant)について評価します。

酸性ガス F-、Cl-、NO2-、Br-、NO3-、SO42-、PO43-、有機酸(酢酸、ギ酸)
塩基性ガス NH4+、代表的なアミン(シクロヘキシルアミン、 モルホリン、メチルアミン類、
エチルアミン類、2-アミノ-2-メチル-1-プロパノール など)
凝縮性有機物質 フタル酸エステル類、シロキサン類、リン酸エステル類、アジピン酸エステル類、
フェノール系酸化防止剤 など
ドーパント類 B、P など
金属 Na、Mg、Al、K、Ca、Ti、Cr、Mn、Fe、Ni、Cu、Zn など

クリーンルームエアサンプリングの様子

インピンジャー捕集(酸性ガス、塩基性ガス、ドーパント類、金属が対象の捕集方法)
インピンジャー捕集
(酸性ガス、塩基性ガス、ドーパント類、金属が対象の捕集方法)
吸着管捕集(凝縮性有機物質が対象の捕集方法)
吸着管捕集
(凝縮性有機物質が対象の捕集方法)

クリーンルームエアのイオンクロマトグラム [測定例]

陰イオン
陰イオン
陽イオン
陽イオン

 

  • 陰イオンクロマトグラフ分析から、レジスト溶剤や建築部材由来と考えられる酢酸イオン(CH3COO-)やギ酸イオン(HCOO-)、外気由来と考えられる亜硝酸イオン(NO2-)、硝酸イオン(NO3-)や硫酸イオン(SO42-)が検出されました。
  • 陽イオンクロマトグラフ分析から、外気・作業員・各種材料由来と考えられるアンモニウムイオン(NH4+)やボイラーの清缶剤由来と考えられる2-アミノ-2-メチル-1-プロパノール((CH3) 2C(NH3)+CH2OH)が検出されました。

クリーンルームエアのGC-MSチャート [測定例]

吸着管捕集法によるGC-MS分析の結果
青枠内:低沸点化合物、緑枠内:中沸点化合物、赤枠内:高沸点化合物

 

吸着管捕集法によるGC-MS分析の結果です。

  • 外気、レジストなどの薬品、建築・装置構成材料由来と考えられるトルエン、エチルベンゼン、キシレンなどの低沸点化合物が検出されました。
  • ベンズアルデヒドやデカン(C10)・ウンデカン(C11)などの中沸点化合物が検出されました。
  • 可塑剤由来と考えられるフタル酸ジメチル(DMP)やフタル酸ジ-2-エチルヘキシル(DOP)などの高沸点化合物が検出されました。

 

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