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ウエハ全面の汚染元素マッピング (Sweeping-TXRF)

営業部門 TEL 046-270-2075 (受付9:00~17:00)土日祝日年末年始を除く平日
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全反射蛍光X線分析応用例

詳細なマッピングデータからウエハの汚染分布を明らかにします!

汚染の分布と量が同時に分かります。

一般的な測定(Fe) (200mmSiウエハ,5点測定)
測定箇所(白色部分)
                 図1 一般的な測定(Fe)
              (200mmSiウエハ,5点測定)
マッピング測定(Fe)  (200mmSiウエハ,169点測定)
図2 マッピング測定(Fe)
(200mmSiウエハ,169点測定)

一般的にウエハの汚染元素分析は5点程の測定で評価するため、汚染の全体像は見えません。

Sweeping-TXRFでは、ウエハ全面の汚染分布と汚染量を評価する事が出来ます。

Sweeping-TXRFなら

面で分析

  • ウエハ全面を測定し、汚染箇所を特定。
  • 積算によりウエハ全面の平均濃度が分かります。
  • ウエハサイズは300mmまで対応。測定点数は任意に選択できます。(ご相談ください)
  • 測定点はSEMI standardに対応。
    Concentric circle(同心円)グリッド、Cartesian(直交)グリッド、Single-diameter(単直径)グリッドをご用意しています。

迅速

  • 高スループットを実現、通常分析と同期間で納品致します。

高感度

  • 1010atoms/cm2オーダーの高感度です。
  • 得られた結果を元に、通常の全反射蛍光X線分析(Direct-TXRF)でさらに高精度な分析もできます。

 

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