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ウエハ表面上の金属汚染評価事例4

ウエハへの転写によるクリーンルーム用部材の汚染評価

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手袋を代表とするクリーンルーム用部材は、数多くの種類が市販されています。しかしながら、材質やグレード等に注意し、選定しなければ、製品を汚染させる恐れがあります。そのため、クリーンルーム用部材を使用する以前に、汚染評価されることをお勧めします。

ここでは、クリーンルームで使用する手袋について、シリコンウエハへ汚染を転写させて、気相分解法(VPD)-誘導結合プラズマ質量分析(ICP-MS)にて、評価した事例を紹介します。

汚染の転写方法

汚染の転写方法
手袋は、市販のクリーンルーム用手袋を使用しました。天秤上に清浄なシリコンウエハを置き、試験対象の手袋を装着した手を約1kgの加重で1分間、手袋の表面がウエハ全面に接触するように押し当て、手袋の汚染をウエハに転写させました。

評価結果

強制汚染させたシリコンウエハ表面上の元素を回収し、ICP-MSで評価した結果を示します。

強制汚染させたシリコンウエハ表面上の元素を回収し、ICP-MSで評価した結果を示します。

ナトリウム(Na)、マグネシウム(Mg)、カリウム(K)、カルシウム(Ca)に加え、アルミニウム(Al)、鉄(Fe)、亜鉛(Zn)等が検出されました。
また、汚染量は、手袋間で違いがあることも確認されました。

 

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