NTT-AT 先端技術商品紹介サイト Leading-Edge Key Technology Product Information
ホーム > 材料分析サービス > 化学分析 > 無機分析 > 蛍光X線分析法 (XRF: X-ray Fluorescence Analysis)

蛍光X線分析法 (XRF: X-ray Fluorescence Analysis)

営業部門 TEL 046-270-2075 (受付9:00~17:00)土日祝日年末年始を除く平日
お問い合わせフォーム
非破壊で簡単に組成を調べることができます。

こんな時にご利用ください!

もっと早く調べたい。
非破壊で多元素を同時に迅速な結果を得ることが出来ます。
何か分からないけれど、どんなものか調べたい。
試料中の元素(Be~U)を組成(wt%)から不純物(0.01wt%)まで調べることができます。
材料作製の工程管理をしたい。
繰り返し精度の良い分析(~数%)です。

蛍光X線分析法とは?

蛍光X線分析法は、固体、液体試料の元素の定性・定量分析を行うことができます。 X線を照射し、試料から出てくる元素固有の特性X線を検出することで、試料中の元素を組成から不純物レベルまで調べることができ、非破壊で迅速な分析が可能です。

蛍光X線の発生機構

蛍光X線の発生
蛍光X線の発生
X線管から発生した一次X線が物質に照射されると内殻電子が殻外に放出され、空孔ができ、原子が不安定状態になります。
安定化のため外殻電子が空孔に入り、そのエネルギー差に相当するX線が放出されます。

これを蛍光X線といいます。
試料から発生した蛍光X線のエネルギー値とその量から元素の定性・定量を行うことができます。

 

検出器の構成

エネルギー分散型検出器の構成
エネルギー分散型検出器の構成
1. エネルギー分散型検出器

半導体検出器により蛍光X線を測定し,マルチチャンネルアナライザで得られた蛍光X線のエネルギーと強度を解析します。
短時間で多元素を定性・定量できます。

 

波長分散型検出器の構成
波長分散型検出器の構成
2. 波長分散型検出器

蛍光X線を単結晶(分光結晶)で回折し、検出器をローランド円周上で掃引して測定することで高いエネルギー分解能が得られます。

エネルギー分散型では難しい希土類元素が混在する様な蛍光X線ピークのエネルギーが近接するケースに適しています。

例えば、こんな分野にお使いいただけます。

  • 不明物質の元素調査
  • RoHSなど有害物質のスクリーニング
  • 薄膜試料の組成分析・膜厚測定
     

製品一覧

閉じる

サービス一覧

材料分析サービス

材料分析サービス

閉じる

課題解決のご提案一覧

閉じる

ダウンロード一覧

閉じる