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位置決め装置 高分解能フィードバックシステム 大気用

営業部門 TEL 046-270-2075 (受付9:00~17:00)土日祝日年末年始を除く平日
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光学式リニアスケールをステージ内部に内蔵し、シグマテック社独自のフィードバック回路を搭載した高分解能フィードバックステージシステムです。

 

位置決め装置 高分解能フィードバックシステム

本製品はシグマテック社製です。
本ホームページに記載の内容は、予告なしに変更する場合があります。


高分解能フィードバックステージシステムの特徴

リニアスケールを内蔵した電動自動ステージとクローズドループ制御機能を搭載したコントローラの組み合わせにより、精度の高い位置決め再現性を実現している点と位置決め後、自己位置を保持する機構が備わっております。
各種、精密位置決めが必要なアプリケーションに応用可能であり、大気中に加え、真空装置内部でも使用できるタイプもご用意しています。

 

適用例

PLCと光ファイバアレイの接続、光デバイスと光ファイバの接続といった精密に位置決めを行う接続装置の位置あわせ機構部分顕微鏡視野にある複数の細胞を一定の時間間隔で繰り返し観察する高精度な繰り返し位置精度が求められるような顕微鏡ステージ

 

ステージ分解能

1nm ステッピングモータで1nm分解能の位置決めが可能となったハイエンドシリーズ
5nm 高分解能とスピードを両立した位置決め装置
10nm 高分解能で豊富なラインナップの10nm分解能の位置決め装置
Subμ ロングストロークを用意したエントリーモデルの位置決め装置

 

ステージテーブルの大きさ

60mm□、80mm□、120mm□、160mm□、120mm×170mm(*)から選べます。
電動自動ステージ単体のほか、測定システム(対向6軸制御など)としても承ります。

(*)□120mm×170mmはサブミクロン分解能のみ。

 

高分解能 1nmフィードバックシステム

ステッピングモータで1nm分解能の位置決めが可能となったハイエンドシリーズです。

特徴

1nm分解能の位置決めを達成したハイエンドフィードバックステージシステムです。駆動部分にピエゾアクチュエータとステッピングモータを使 用している粗微動構造ではなく、新たにハーモニックドライブを使用したステッピングモータ単体での送り機構により、粗微動構造では実現が難しかったスト ローク(20mm/40mm/50mm)全域を1nmステップにて送ることが可能になりました。

ラインナップ ~高分解能 1nmフィードバックシステムシリーズ~

1nmフィードバックステージ
FS-1020SPX(MD)

1nmフィードバックステージ
FS-1040SPX(MD)

1nmフィードバックステージ
FS-1050SPX(MD)

1nmフィードバックステージ FS-1020SPX(MD)

1nmフィードバックステージ FS-1040SPX(MD)

1nmフィードバックステージ FS-1050SPX(MD)

1nmフィードバックステージコントローラ
FC-901(MD)A(モータドライバ内蔵)

1nmフィードバックステージ FC-901(MD)A(モータドライバ内蔵)

高分解能 5nmフィードバックシステム

高分解能とスピードを両立した位置決め装置です。
ボールねじのみで5nmの分解能を実現し、 5nm分解能ステップ位置決めがストローク内全域で可能になりました。

特徴

減速機構を必要としないシンプルな構成で5nm分解能の位置決めが可能で、微細な5nmステップ送りと移動速度(5mm/s)を両立したシステムです。コントローラは2軸制御が可能でステージを組み合わせてXY軸システムを構築することができます。

ラインナップ ~高分解能 5nmフィードバックシステムシリーズ~

5nmフィードバックステージ FS-1020SPX
FS-1020SPXY

5nmフィードバックステージ FS-1040SPX
FS-1040SPXY

5nmフィードバックステージ FS-1050SPX
FS-1050SPXY

5nmフィードバックステージ FS-1020SPX  FS-1020SPXY

5nmフィードバックステージ FS-1040SPX  FS-1040SPXY

5nmフィードバックステージ FS-1050SPX  FS-1050SPXY

5nmフィードバックステージ
コントローラ FC-601A(モータドライバ内蔵)

5nmフィードバックステージ コントローラ FC-601A (モータドライバ内蔵)

高分解能 10nmフィードバックシステム

高分解能で豊富なラインナップの10nm分解能の位置決め装置です。

特徴

10nm分解能の位置決め装置が容易に扱えます。ステージラインナップはストローク20mm~150mmまでの直動ステージ、その他回転ス テージとZ軸ステージも用意しています。10nmという高い分解能を選択しながらロングストロークや専用ステージも選べることで、ユーティリティとユーザ ビリティを両立した製品となっています。

ラインナップ ~高分解能 10nmフィードバックシステムシリーズ~

10nmフィードバックステージ FS-1020PX / FS-1020PXY

10nmフィードバックステージ FS-1040PX / FS-1040PXY

10nmフィードバックステージ FS-1050PX / FS-1050PXY

10nmフィードバックステージ FS-1020PX FS-1020PXY

10nmフィードバックステージ FS-1040PX FS-1040PXY

10nmフィードバックステージ FS-1050PX FS-1050PXY

10nmフィードバックステージ FS-1100PX / FS-1100PXY

10nmフィードバックステージ FS-3150PX / FS-3150PXY

Z軸用10nmフィードバックステージ
FS-1005PZ / FS-1010PZ

10nmフィードバックステージ FS-1100PX FS-1100PXY

10nmフィードバックステージ FS-3150PX FS-3150PXY

Z軸用10nmフィードバックステージ FS-1005PZ FS-1010PZ

10nmフィードバックステージ
コントローラ FC-501A(モータドライバ内蔵)

10nmフィードバックステージ
コントローラ FC-502(モータドライバ外付)

10nmフィードバックステージ コントローラ FC-501A (モータドライバ内蔵)

10nmフィードバックステージ コントローラ FC-502 (モータドライバ外付)

Subμ(サブミクロン)フィードバックシステム

ロングストロークを用意したエントリーモデルの位置決め装置です。

特徴

高分解能のフィードバックステージシステムです。 50nm/100nm分解能をコントローラにより選択することが可能で、直動ステージだけではなく、回転やZ軸ステージをラインナップし、組合せにより 様々なシステムを構築することができます。より扱い安く、そしてフィードバック可能なシステムです。

ラインナップ ~Subμ(サブミクロン)フィードバックシステムシリーズ~

Subμフィードバックステージ FS-1020X / FS-1020XY

Subμフィードバックステージ FS-1040X / FS-1040XY

Subμフィードバックステージ FS-1050X / FS-1050XY

Subμフィードバックステージ FS-1020X FS-1020XY

Subμフィードバックステージ FS-1040X FS-1040XY

Subμフィードバックステージ FS-1050X FS-1050XY

Subμフィードバックステージ FS-1100X / FS-1100XY

Subμフィードバックステージ FS-3150X / FS-3150XY

Z軸用サブミクロンフィードバックステージ
FS-1005Z / FS-1010Z

Subμフィードバックステージ FS-1100X FS-1100XY

Subμフィードバックステージ FS-3150X FS-3150XY

Z軸用サブミクロンフィードバックステージ FS-1005Z FS-1010Z

微小回転用フィードバックステージ FS-1120 θ

ロングスケールSubμフィードバックステージ
FS-3000 / FS-2000シリーズ

微小回転用フィードバックステージ FS-1120 θ

 

ロングスケールSubμ フィードバックステージ FS-3000 FS-2000シリーズ

 

Subμフィードバックステージ
コントローラ FC-101(モータドライバ内蔵)

Subμフィードバックステージ
コントローラ FC-102(モータドライバ外付)

Subμフィードバックステージ
コントローラ FC-401(モータドライバ内蔵)

Subμフィードバックステージ コントローラ FC-101 (モータドライバ内蔵)

Subμフィードバックステージ コントローラ FC-102 (モータドライバ外付)

Subμフィードバックステージ  コントローラ FC-401 (モータドライバ内蔵)

Subμフィードバックステージ
コントローラ FC-402(モータドライバ外付)

Subμフィードバックステージ  コントローラ FC-402 (モータドライバ外付)

オプション一覧

ジョイスティックコントローラ FJ-402

モータドライバボックス
DB-55M1 / DB-55M2

ジョイスティックコントローラ FJ-402

モータドライバボックス DB-55M1 DB-55M2

 

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