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ナノインプリント用モールド カタログ製品

お求めやすい価格、短納期、豊富なメニュー

営業部門 TEL 046-270-2075 (受付9:00~17:00)土日祝日年末年始を除く平日
お問い合わせフォーム
さまざまな用途にご利用いただけます。

さまざまな用途に応じて選べる25種類の豊富なメニュー

お試しプロセスの立ち上げ、転写性能評価など、ナノインプリントのいろいろな場面でお気軽にお使いいただけます。
  • インプリント応用研究・開発時のお試し用
  • インプリントプロセス立ち上げ
  • 新材料開発・選定時の解像性評価
  • 転写装置・システムの性能確認・検査
最小ライン幅45nmの解像性評価用極微細モールドをお求めやすい価格の標準タイプ(型式:NIM-PHL45)として販売開始しました。

標準タイプの詳細仕様はこちら

豊富なメニュー

極微細25nmからμmオーダーまで広い寸法範囲をカバー 最小パータン寸法25nmからμmオーダまでをカバー。
光の偏向、屈折、反射や微細生物の制御、あるいはインプリント材料の転写解像度の評価など、お客様の研究・開発対象に応じてお選びいただけます。
パターン種類、パターン配列に工夫した豊富なパターン インプリントの基本的なライン、ドット、ホールに加え、マイクロレンズアレイおよびモスアイの5種類のパータンを用意しております。
また単一パータン・混載パターン等、バライエティも豊富に用意しております。
様々なインプリント方法に対応、豊富な石英モールド 光転写・熱転写のそれぞれにご使用いただける、石英・シリコン・Ni(電鋳製)モールドからお選びいただけます。

光・熱の両方の転写に使える石英モールドは豊富な12種類をご用意しております。

ナノインプリント用モールドカタログ製品NIMシリーズ


タイプ別パターンサイズ別メニュー

低価格・短納期

  • ナノインプリントの研究・技術開発加速のお役に立てますよう、お求め安い価格でご提供
  • カタログ製品の一部は、さらに低価格・短納期でご提供する【標準タイプ】もご用意
  • 一部のカタログ製品についてはボリュームディスカウントもご利用可能
  • 納期は、標準タイプは2週間を、それ以外のカタログ製品は1.5カ月を目安としてご提供

※ご発注時期等により納期は変わります。詳しくはお問合せください。

ナノインプリント用モールドカタログ製品 標準タイプ 主な仕様

型番 パターン種別、配列 パターン寸法 材質・外形
NIM-PHL45 ライン、多水準パターン ライン:45、60、80、100nm(4水準)。
パターン深さ100nm 
石英・□10mm
NIM-PHL80 ライン、多水準パターン ライン幅80nm~3μm、11水準。
パターン深さ200nm
NIM-PHH100 ホール、多水準パターン ホール径100nm~3μm、9水準 。
パターン深さ200nm
NIM-PH350 ライン、ドット、ホールの混載、多水準パターン ライン:350nm~10μm、10水準。
ホール・ドット: 500nm~10μm、8水準。パターン深さ350nm

形状・パターン例

パターン概要

パターン概要

解像性評価評価パターン(各種寸法を混載)

パターンレイアウト例

混載パターン・多水準パターン
パターンレイアウト例(型式:NIM-PH350)

パターンレイアウト例

単一パターン・多水準パターン
パターンレイアウト例(型式:NIM-PHL80)

単一パターン(パターン面積大)

パターンレイアウト例

単一パターン(単一配置)
パターンレイアウト例(型式:NIM-100UD)

パターンレイアウト例

単一パターン(分割配置)
パターンレイアウト例(型式:NIM-150UL)

 

種類別・パターンサイズ別メニュー

注1) パターン間隔 ~  パターン寸法 : 隣接パターンとの間隔 (例: ライン幅 : スペース幅)
注2)  ご注文が複数個の場合、ボリュームディスカウントをご用意しています。お問い合わせください。

※仕様、その他は予告なく変更される場合がございます。弊社までお問い合わせください。

解像性評価パターン(多水準の寸法パターンを混載)

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単一パターン(パターン面積大)(注2)

種類別・パターンサイズ別メニュー

特殊形状パターン(3次元パターン。モスアイ、マイクロレンズ)

種類別・パターンサイズ別メニュー

 

材料別・パターン別メニュー

注1) パターン間隔 ~  パターン寸法 : 隣接パターンとの間隔 (例: ライン幅 : スペース幅)
注2) ご注文が複数個の場合、ボリュームディスカウントをご用意しています。お問い合わせください。

※仕様、その他は予告なく変更される場合がございます。弊社までお問い合わせください。

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カタログ

一部標準タイプのナノインプリント用モールドについてカタログダウンロードが可能です。
掲載の無い型式のカタログ、その他詳細なパターンレイアウト図が必要な方は上部お問合せフォームよりお問合せください。

※掲載されておりますカタログの内容は、仕様変更などで予告なく変更される場合があります。

標準タイプ_石英製ナノインプリント用モールド

標準タイプ NIM-PHL45 152KB
標準タイプ NIM-PHL80 165KB
標準タイプ NIM-PHH100 168KB
標準タイプ NIM-PH350 165KB

ナノインプリント用モールド・スケール・X線光学部品・メンブレンのカタログ製品


カタログ製品リスト 112KB

 

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