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MEMS加速度センサ

静電容量型MEMS(Microelectromechanical Systems)加速度センサ

営業部門 TEL 046-270-2075 (受付9:00~17:00)土日祝日年末年始を除く平日
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独自のメタル積層技術を用いて作製した、静電容量型MEMS(Microelectromechanical Systems)加速度センサです。
MEMS加速度センサ
人体動作モニタリング例*
*写真提供:東京工業大学様
 

特徴

高密度の金を基板上に積層した微小な機械構造を有する独自のデバイス構造です。*1
一般的なシリコン製MEMS加速度センサと比べて、デバイス単体のノイズ性能を大幅に小さくすることが可能です。*2,3
お客様のニーズに合わせた各種形態でのご提供が可能ですのでご相談ください。(モジュール、PKG、チップ)

指先用モジュール写真
指先用モジュール写真*4
*1.特許第5831905号取得
*2.T. Konishi et al., Jpn. J. Appl. Phys., Vol. 52, No. 6S, 06GL04 (2013).
*3.D. Yamane et al., Appl. Phys. Lett., Vol. 104, Issue 7, 074102 (2014).
*4.写真提供:東京工業大学様

仕様(例)

検出範囲 +/- 0.1G, +/-2G, +/-4G, +/- 16G
MEMSデバイスノイズ性能* 300nG/√Hz
モジュールノイズ性能* <150uG/√Hz
モジュール形態 幅16mm×長さ22mm×高さ10mm
モジュール通信IF I2C(その他Bluetooth, Xbee等ご要望に応じます)
* 検出範囲+/ -0.1Gの場合。

適用例

日常生活から最先端の科学技術領域まで幅広い適用が可能です。

情報通信 IoT端末、AI・情報セキュリティ、ロボット
医療 人体動作モニタリング、スポーツ医療、介護
移動体 自動車、鉄道、船舶、航空機等の動作検出・制御
インフラ 電柱、橋梁、道路等の振動検知
機械 装置、機器の振動検知、予防保全
宇宙 衛星、探査機等の微小振動検知

人体動作写真
人体動作モニタリング例*
*写真提供:東京工業大学様

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