透過型及び反射型の軟X線ビームスプリッタをご提供いたします。

◆特　徴
高反射率 高平坦 大型ウィンドウ
軟X線ビームスプリッタの構造と機能	軟X線ビームスプリッタ例
透過型ビームスプリッタの特性例（直入射角10度）
応用例
Mirau型微分干渉顕微鏡(NTTマイクロシステムインテグレーション研究所殿)