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評価・測定

半導体プロセスサービス

営業部門 TEL 046-270-2075 (受付9:00~17:00)土日祝日年末年始を除く平日
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プロセスを実施後にクリーンルーム内でおこなう検査として、以下の項目に対応することが出来ます。

顕微鏡観察
光学顕微鏡
低加速SEM(電子顕微鏡)
レーザ顕微鏡
レーザ顕微鏡評価例
レーザ顕微鏡評価例

膜厚測定 光学式膜厚計
エリプソメータ
AFM
AFMによる微細段差評価例
AFMによる微細段差評価例

段差測定 触針段差計
触針段差計による段差評価例if
触針段差計による段差評価例

電気光学測定
電流-電圧(I-V)測定
電流-光出力(I-L)測定
シート抵抗測定
半導体レーザのI-V特性、I-L特性評価(CW)
半導体レーザのI-V特性、I-L特性評価(CW)


 

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