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問題解決のためのコンサルティング

半導体プロセスサービス

営業部門 TEL 046-270-2075 (受付9:00~17:00)土日祝日年末年始を除く平日
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高度な分析評価を含めた半導体プロセスサービス

  • CR内の評価測定で対応できない(インラインではできない)本格的な分析、例えば表面分析・構造解析等の 分析評価については、弊社分析センターで対応いたします。 関連:分析サービス
  • AESによる表面分析、SIMSによる極微量分析、TEMによる表面・断面構造解析、TXRFによる表面汚染分析等の分析評価を行なっております。
  • プロセスの評価に効果的な分析手法、分析箇所、分析点数等についても、コンサルティングいたします。

半導体プロセストラブルの解決に向けたコンサルティング

  • 各種のプロセストラブルでお悩みの方に、解決に向けた方法等をご提案、コンサルティングいたします。特に、コンタミネーション対策にお悩みの方はご相談ください。経験豊富な専門家がコンサルティングいたします。
  • SOI上のSiプロセスに関するプロセストラブル、Siバイポーラトランジスタに関するプロセストラブル、配線系のプロセストラブルに関するコンサルティングも承ります。

クリーンルームの運用・管理の支援とコンサルティング

以下のような項目について、クリーンルーム(CR)の設計、運用、管理等のコンサルティングや支援を行なっております。何でもご相談ください。

CRの基本設計に関するコンサルティング

  • クリーン度(清浄度)について
  • 天井構造、床および床下構造、壁構造について
  • CR内の室構成について

CR付帯設備に関するコンサルティング

  • 電気設備について
  • ガス供給設備、ガス排気設備について
  • 純水供給設備、排水処理設備について
  • 冷却水供給設備について
  • 安全設備について

CRの運用、管理に関するコンサルティング

  • CRの具体的運用方法、使用方法について
  • 安全関連ルールについて

CR内の装置配置に関するコンサルティング

  • 装置配置の考え方について
  • 装置配置案の策定について

CR運用、装置立上げの支援について

上記のコンサルティングのほかに、以下の支援も承ります。

  • CRの運用支援
  • 新規装置の立上げ支援等

 

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