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メンブレンMEMS

営業部門 TEL 046-270-2075 (受付9:00~17:00)土日祝日年末年始を除く平日
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  • 極薄膜上に熱,振動,光,荷電粒子等の高感度センサーを製作

特徴

X線やEBマスクで培ったメンブレン技術を用いて作製
メンブレンは高精度に応力制御が可能
メンブレンは光学的にも透明
*メンブレンMEMSとは、薄膜構造のMEMS(Micro Electro Mechanical System)です。

材料

メンブレン材料 SiN、SiC
金属パタン材料 Ta、Au、Pt、Cr

製作例(メンブレンMEMセンサー)

製作例(メンブレンMEMSセンサー)

 

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