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四角錘パタンアレイ

営業部門 TEL 046-270-2075 (受付9:00~17:00)土日祝日年末年始を除く平日
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マイクロプリズムや表面改質など多様な用途

特徴

  • 機械加工で困難な微細構造、均一性が可能
  • 凹型タイプ / Si製
  • Si結晶方位を用い、正確な角度を実現
  • パタンピッチ:0.5μm~、梁:0.05μm~

制作例

四角錐パタンアレイの制作例SEM観察像
SEM観察像
四角錐パタンアレイの制作例SEM観察像(斜め観察)
SEM観察像(斜め観察)

 

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