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微細構造物の洗浄、乾燥ダメージを低減したい。

 

微細構造物の洗浄、乾燥でおこるトラブルにお困りではないでしょうか?

 

トラブルその1 微細パターンの倒壊 お困りごとその2 装置の設置、管理が大変 お困りごとその3 処理を手軽に行いたい

 

 

 手軽に超臨界乾燥を実現し、微細パターンの倒壊を防ぎます。

 

 NTT-ATの小型超臨界乾燥装置は、常温常圧で液体の不燃性・低毒性のフッ素系溶剤を使っているので、省スペース化が可能です。また、薬液を入れてスタートボタンを押すだけで、手軽に超臨界乾燥が可能です。

 

 貴重な試料を洗浄・乾燥によるパターン倒壊(ダメージ)から防ぎます。

 

装置設置、管理、処理の労力を軽減します。
微細構造作製のための労力・費用を無駄にしません。

 

 

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