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X線フレネルゾーンプレート

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  • X線顕微鏡、放射光ビームモニター等各種X線光学系用
  • X線照射耐性の優れるSiCメンブレン
  • 最小ゾーン幅25nmに対応 
  • <カタログ製品>最小ゾーン幅 38nmの低価格FZP
  • 標準仕様のカタログ製品の他、特注品も対応

 

主な仕様

FZPのX線吸収体パタン

パタン外観 (光学顕微鏡)
パタン外観(光学顕微鏡)
FZP 斜め観察像 (SEM)
FZP 斜め観察像(SEM)

FZPの構造

バイナリー型
バイナリー型
ステップ(kinoform)型
ステップ(kinoform)型

 

最小最外周ゾーン幅 25nm
最大直径 5mm
メンブレン材料 SiN、SiC
メンブレン厚さ 0.2~2μm
吸収体材料 Ta
吸収体厚さ 0.1~2μm
Si基板外形 10mm角
Si基板厚さ 1mm

*仕様につきましてはご相談に応じます。お気軽にお問い合わせ下さい。
 

製作例

極微細FZP ・厚膜FZP(高アスペクトFZP)・ ステップFZPの製作例をご紹介します。

極微細FZP

FZP直径: 250μm、Ta膜厚: 125nm、最外周ゾーン幅: 25nm、メンブレン: SiC 2.0μm

最外周部のSEM像 ゾーン幅25nm
最外周部のSEM像 ゾーン幅25nm

最外周部のSEM像: ゾーン幅25nm

厚膜FZP(高アスペクトFZP)

FZP直径: 100μm、Ta膜厚: 2.5μm、最外周ゾーン幅: 250nm、メンブレン: SiN 2.0μm

最外周部のSEM像: Ta吸収体膜厚2.5μm
最外周部のSEM像: Ta吸収体膜厚2.5μm

最外周部のSEM像: Ta吸収体膜厚2.5μm

ステップFZP

FZP直径: 100μm、Ta膜厚: 4.0μm、最外周ゾーン幅: 400nm、メンブレン: SiC 2.0μm

中央部のSEM像: ステップ(Kinoform)型のTaパタン
中央部のSEM像: ステップ(Kinoform)型のTaパタン

中央部のSEM像: ステップ(Kinoform)型のTaパタン

標準品仕様

△Rn:Outermost Zone Width, D:Diameter, N:Total Zone, Tm:Ta Thickness

Model Aspect
Ratio
Membrane Material Membrane Thickness(um) △Rn
(nm)
D(um) N Tm(nm)

FZP-S38/84
4.2 SiN 0.15 38 84 550 160
FZP-S50/80 5 SiN 0.2 50 80 400 250
FZP-S40/155 5 SiN 2 40 155 968 200
FZP-S50/330 8 SiN 1 50 330 1,650 400
FZP-S86/416 8.1 SiN 2 86 416 1,200 700
FZP-100/155 8 SiN 2 100 155 388 800
FZP-173/208 5.8 SiN 2 173 208 300 1,000
FZP-200/206 8 SiN 2 200 206 255 1,600
FZP-C234/2500 0.6 SiC 0.2 234 2,500 2,670

150

※記載された仕様等は製品改良の為お断りなく変更する事がありますのでご了承下さい。
 

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