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X線チャート <カタログ製品>

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  • タンタル(Ta)製のX線吸収体パタン
  • SiNおよびSiCメンブレン構造
  • 用途に合せて超高解像度タイプ、厚膜高解像度タイプと標準タイプの3タイプを用意

プレスリリース

国立大学法人 大阪大学様と、独立行政法人 理化学研究所様のプレスリリース(2013年3月4日付)に、弊社「X線テストチャート(特注品)」が掲載されました。

「高空間分解能」かつ「高感度」な革新的X線顕微法を開発
~生体軟組織の高分解能イメージングへの応用展開に期待~

仕様

項目 標準タイプ
XRESO-100
厚膜高解像度タイプ
XRESO-50HC
NEW!!
超高解像度タイプ
XRESO-20
基板 材質・外形 Si 10mm角
厚さ 1㎜ 0.625mm
メンブレン 材質・厚さ Ru 20nm
SiN 2μm
Ru 20nm
SiC 200nm
SiN 50nm
領域 1mm角
配置 基板中心部
パタン 吸収体材料
・膜厚
Ta 1.0μm Ta 500nm Ta 100nm
最小寸法 100nm 50nm 20nm(放射状パタン)
パタン領域 250μm×350μm角 300μm角

外観説明図(高解像度タイプ)

外観図高解像タイプ

超高解像タイプ:XRESO-20

チャートSEM像 パターンレイアウト
100nmホール(図2) 全体図
ホール 100nm X線チャート全体図 超高解像度タイプ
50nm L&S(図3)
ラインアンドスペース 50nm
放射状パタン(図4) 20nm パタン部(図1)
パタン部 20nm パタン部

標準タイプ:XRESO-100

パタンレイアウト
標準タイプ:XRESO-100

厚膜高解像度タイプ:XRESO-50HC

チャートSEM 像
放射状パタン 図(1)
50nmL&S 図(2)
厚膜高解像度タイプ:XRESO-50HC 放射状パタン
厚膜高解像度タイプ:XRESO-50HC 50nmL&S
X線検査装置による撮像
「(株)東研製 TUX-5000F」
↓ 
↓ ↓
パタンレイアウト
厚膜高解像度タイプ:XRESO-50HC パタンレイアウト
X線検査装置による撮像 「(株)東研製 TUX-5000F」

*株式会社東研様ご提供

※記載された仕様等は製品改良の為お断りなく変更する事がありますのでご了承下さい。

 

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