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ナノインプリント用樹脂

高精度、高スループットな高屈折率ナノインプリント樹脂

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ナノインプリントとは?

ナノスケールの凹凸パターンを形成したスタンパーを樹脂が塗布された基板に押し当て、加熱または光硬化を行って樹脂に凹凸パタンを転写する加工技術です。
従来のナノスケール加工技術と比較し、簡便かつ低コストに加工できる事から、次世代の大量生産技術として注目されています。

ナノインプリント作製概念図

p10019_11.jpg

 

本樹脂は高屈折率を特徴としたナノインプリント用樹脂であり、高屈折率による機能性精密パターン作製に適用できます。
 

2019年2月5日 
無溶剤系高屈折率ナノインプリント樹脂の開発および販売開始
~無溶剤化により、従来の溶剤系ナノインプリント樹脂では不可能であった厚膜化を実現~ 

作製例

ホールパターン
Hole Pattern
ラインアンドスペースパターン
Line & Space pattern
ピラーパターン
Pillar pattern


ナノインプリント用樹脂の特徴

高屈折率を実現

633nmで>1.7。光学部品の小型化を可能にします。

高透過率

透過率の波長依存性のグラフ

透過率の波長依存性(上図は#18210の特性となります。)

高屈折率な材料であるにもかかわらず、波長400nm帯でも透過率は90%以上と高透過率を実現しています。

高精度加工を実現

ナノインプリントは加熱工程が不要であり、ナノレベルの高精度なインプリントが可能となります。

インプリントパタン写真

 インプリントパターン写真

転写したナノインプリントパタンのSEM写真(ピラーパターン)です。精度よくモールドのパタンが転写されています。

溶剤有り、無しの選択が可能

溶剤を含んだ#18210は<1umの薄膜の作成に適しております。
溶剤を含まない#18247 では>2-3umの膜を作成することが可能です。

特性


項目 条件 単位 #18210
 
#18247
2019年4月より販売開始
溶剤 - - プロピレングリコールモノメチルエーテル(PGME) -
(無溶剤)
硬化前の
性状
粘度 E型粘度計 : 25°C mPa·s 15 138
硬化条件 プリベーク - - 115°C 1min -
UV照射量 UV ランプ
: 365 nm強度
- 100mW/cm2
5min
100mW/cm2
1min
硬化後の
特性
屈折率 プリズムカプラ: 25°C λ=403nm 1.771 1.765
λ=589nm 1.725 1.710
λ=633nm 1.720 1.704
λ=848nm 1.708 1.689
アッベ数 プリズムカプラ: 25°C - 31 24
ヘイズ 厚み: 50 μm % < 0.1 < 0.1
ガラス転移温度 動的粘弾性 : tanδmax °C 100 125
硬化収縮率
硬化前後の密度差から算出 % 6 7
透過率 分光光度計: 厚さ:
2μm (#18210), 50 μm (#18247) 
(反射損失含む)
λ=450nm % 94 95
λ=540nm 95 96
λ=630nm 95 97

ご注意:データはあくまで測定値で、保証値ではありません。
保管温度は0-5℃です。

#18247の特徴(2019年4月より販売開始)


従来の溶剤系ナノインプリント樹脂#18210とは異なり、#18247は無溶剤系であることから
-溶剤を揮発させる加熱工程が必要ありません。
-樹脂に直接モールドを押し付けインプリントする方法が可能です。
-溶剤による基板への影響の心配がありません。さらにバルクフィルムの製作が可能です。

光透過率


50μmの膜厚といった厚膜においても400nm以上の波長付近で高い透過率を有します

関連サービス

その他、ライン、ドット、ホールなどのパターンのほか、3次元のマイクロレンズアレイ、モスアイ、段差など豊富なパターンと最小線幅20nmから数μmまで広い範囲をカバーします、ナノインプリント用モールドを取扱っております。詳しくはこちらへ

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