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50nm面内スケール

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ナノ計測をされている方へ
AFM、SEMでnmオーダーの正確な長さ測定を実現します。

世界で初めて、校正された50 nmピッチの面内スケールです。

本製品は産業技術総合研究所で開発されたものです*。
* : I. Misumi, et. al. Meas. Scie. Technol., 17 (2006) 2041-2047.


ナノ計測にお使いの、AFM、SEM。 その長さは正確ですか?
従来、数10 nmレベルで校正された標準物質が存在しなかったために、AFM、SEMで正確な長さの測定は不可能でした。
NTT-ATがご提供するのは、世界で初めて、校正された50 nmピッチの面内スケールです。

面内スケールのイメージ

面内スケールのイメージ

納品までの流れ

 

納品までの流れ
弊社での作成後、計量標準総合センター(NMIJ)において校正し、納品いたします。

計量標準総合センター(NMIJ)による校正証明書例

計量標準総合センター(NMIJ)による校正証明書例

 

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