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薄膜材料(BPSG膜)の組成分析

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ICP発光分光分析(ICP-AES)応用例

BPSG膜の高精度な評価ができます!

薄膜の組成を高精度に評価!

  • 薄膜の組成を精度良く、絶対量を評価できます。
  • 薄膜の平均的な組成情報を得る事ができます。
  • 蛍光X線分析、IR分析などの簡易測定の標準試料の分析に活用できます。

BPSG膜の組成分析の概要

手順

  1. ウエハより適切な大きさ(9cm2程度)を分析用に切出す
  2. B、Siの揮散を防ぐ添加剤と共にBPSG膜を溶解・濃縮
  3. 試料溶液をICP-AESによるB、P、Siを測定
分析の流れ
試料切断
(9cm2程度)
膜溶解
(+添加剤)
加熱濃縮 定 容 ICP-AES測定

高精度:蛍光X線分析との相関が高い

下図は蛍光X線分析とICP-AES分析の相関図です。
繰り返し測定精度の高い蛍光X線分析と絶対量の得られるICP-AES分析の結果は、一次関数の直線上に乗る良好な結果が得られています。

ICP-AESとXRFの相関図
ICP-AESとXRFの相関図


層間絶縁膜であるBPSG(Boron Phosphor Silicate Glass)膜の組成は組成はリフローによる熱特性に大きく影響を及ぼすことから、精度の高いICP-AES分析は膜組成の評価に適しています。

例えば、こんな分野にお使いいただけます。

  • 薄膜・バルクの組成・不純物分析 (鉄鋼、非鉄金属、セラミックス、石油化学、半導体、電池材料など)
  • 環境試料中の元素分析 (水質、土壌、大気粉じんなど)

 

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