洗浄
有機洗浄、酸アルカリ洗浄(RCA洗浄等)の各種洗浄を承ります。
有機洗浄
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アセトン洗浄、アルコール洗浄
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酸アルカリ洗浄 |
硫酸過酸化水素水洗浄(ピラニア洗浄、SPM洗浄) アンモニア過酸化水素水洗浄(APM洗浄、SC1洗浄) 塩酸過酸化水素水洗浄(HPM洗浄、SC2洗浄) 希弗酸洗浄(DHF洗浄) |
- 酸・アルカリ洗浄は、残膜等の除去を主な目的としております。
- 洗浄は、浸漬式です。洗浄後の乾燥は、N2ブロー乾燥及びスピンドライ法です。
アニール
電気炉によるアニールを承ります。
アニール |
800~1000℃の高温アニール(フロントエンド・プロセス:FEPL用) 400℃程度の低温アニール(バックエンド・プロセス:BEPL用) |
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- アニールの雰囲気は窒素ガスです。