前工程（洗浄・アニール）

洗浄

有機洗浄、酸アルカリ洗浄（RCA洗浄等）の各種洗浄を承ります。

有機洗浄	アセトン洗浄、アルコール洗浄
酸アルカリ洗浄	硫酸過酸化水素水洗浄（ピラニア洗浄、SPM洗浄） アンモニア過酸化水素水洗浄（APM洗浄、SC1洗浄） 塩酸過酸化水素水洗浄（HPM洗浄、SC2洗浄） 希弗酸洗浄（DHF洗浄）

• 酸・アルカリ洗浄は、残膜等の除去を主な目的としております。
• 洗浄は、浸漬式です。洗浄後の乾燥は、N2ブロー乾燥及びスピンドライ法です。

アニール

電気炉によるアニールを承ります。

アニール	800～1000℃の高温アニール（フロントエンド・プロセス：FEPL用） 400℃程度の低温アニール（バックエンド・プロセス：BEPL用）

• アニールの雰囲気は窒素ガスです。