プロセスを実施後にクリーンルーム内でおこなう検査として、以下の項目に対応することが出来ます。
レーザ顕微鏡評価例
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顕微鏡観察
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光学顕微鏡
低加速SEM（電子顕微鏡） レーザ顕微鏡 |
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AFMによる微細段差評価例
| 膜厚測定 |
光学式膜厚計 エリプソメータ AFM |
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触針段差計による段差評価例
| 段差測定 | 触針段差計 |
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半導体レーザのI-V特性、I-L特性評価（CW）
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電気光学測定
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電流-電圧（I-V）測定
電流-光出力（I-L）測定 |
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