高度な分析評価を含めた半導体プロセスサービス
- CR内の評価測定で対応できない(インラインではできない)本格的な分析、例えば表面分析・構造解析等の 分析評価については、弊社分析センターで対応いたします。 関連:分析サービス
- AESによる表面分析、SIMSによる極微量分析、TEMによる表面・断面構造解析、TXRFによる表面汚染分析等の分析評価を行なっております。
- プロセスの評価に効果的な分析手法、分析箇所、分析点数等についても、コンサルティングいたします。
クリーンルームの運用・管理の支援とコンサルティング
以下のような項目について、クリーンルーム(CR)の設計、運用、管理等のコンサルティングや支援を行なっております。何でもご相談ください。
CRの基本設計に関するコンサルティング
- クリーン度(清浄度)について
- 天井構造、床および床下構造、壁構造について
- CR内の室構成について
CR付帯設備に関するコンサルティング
- 電気設備について
- ガス供給設備、ガス排気設備について
- 純水供給設備、排水処理設備について
- 冷却水供給設備について
- 安全設備について
CRの運用、管理に関するコンサルティング
- CRの具体的運用方法、使用方法について
- 安全関連ルールについて
CR内の装置配置に関するコンサルティング
- 装置配置の考え方について
- 装置配置案の策定について
CR運用、装置立上げの支援について
上記のコンサルティングのほかに、以下の支援も承ります。
- CRの運用支援
- 新規装置の立上げ支援等