問題解決のためのコンサルティング

高度な分析評価を含めた半導体プロセスサービス

• CR内の評価測定で対応できない（インラインではできない）本格的な分析、例えば表面分析・構造解析等の 分析評価については、弊社分析センターで対応いたします。 関連：分析サービス
• AESによる表面分析、SIMSによる極微量分析、TEMによる表面・断面構造解析、TXRFによる表面汚染分析等の分析評価を行なっております。
• プロセスの評価に効果的な分析手法、分析箇所、分析点数等についても、コンサルティングいたします。

クリーンルームの運用・管理の支援とコンサルティング

以下のような項目について、クリーンルーム（CR）の設計、運用、管理等のコンサルティングや支援を行なっております。何でもご相談ください。

CRの基本設計に関するコンサルティング

• クリーン度（清浄度）について
• 天井構造、床および床下構造、壁構造について
• CR内の室構成について

CR付帯設備に関するコンサルティング

• 電気設備について
• ガス供給設備、ガス排気設備について
• 純水供給設備、排水処理設備について
• 冷却水供給設備について
• 安全設備について

CRの運用、管理に関するコンサルティング

• CRの具体的運用方法、使用方法について
• 安全関連ルールについて

CR内の装置配置に関するコンサルティング

• 装置配置の考え方について
• 装置配置案の策定について

CR運用、装置立上げの支援について

上記のコンサルティングのほかに、以下の支援も承ります。

• CRの運用支援
• 新規装置の立上げ支援等