センタービームストップ素子

特徴

• 高いX線耐性、機械強度を持つSiCメンブレン
• 厚膜Au円柱パタンで、高エネルギーX線に対応。
• 標準仕様のカタログ製品の他、特注品も対応

厚膜Au円柱パタン（SEM像）

構造図
(a)Au円柱パタン  (b)SiCメンブレン(あるいはSiNメンブレン)  (c)Si基板

記載された仕様等は製品改良の為お断りなく変更する事がありますのでご了承下さい。