EUVミラー / 軟X線ミラー

光子エネルギー10 eV - 1 keV（波長120 nm - 1.2 nm）のEUV光を高 効率で反射させるEUVミラーをご提供いたします。軟X線やXUV光とも呼ばれるこのエネルギー帯域用ミラーは、EUVリソグラフィなどの産業応用、高次高調波を利用した超高速物理・化学研究、天体物理応用、軟X線プラズマ観測など幅広い分野で用いられています。
主に多層膜ミラーは直入射用、単層膜ミラーは斜入射用として用いられます。