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X線/EUVフィルタ

X-ray/EUV filter

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特定波長のEUV光(極端紫外線,Extreme Ultra-violet)を可視光や不要なEUV光から分離するフィルタです。

自立型EUVフィルタ
自立型EUVフィルタ


自立型EUVフィルタのため、透過率、平坦性に優れています。また、酸化防止膜付きフィルタもございます。耐酸化性に優れるため、通常のフィルタに比べ、透過率の劣化が少ないという特徴をもっています。

主な用途

  • 高次高調波の基本波からの分離
  • 放射光、プラズマX線等の不要波長の除去
  • プラズマX線におけるデブリ防止
  • 真空窓、差圧窓

対応波長域

各極端紫外線、軟X線波長領域に対応可能です。

  • 波長13.5 nm近傍 (Zrフィルタ)
  • 波長29.6 nm近傍 (Alフィルタ)
  • 波長61.5 nm近傍 (Snフィルタ)

ホルダ

ご希望形状のホルダに取り付けいたします。以下の各種標準ホルダも用意しております。

  • New Port, New Focus社ミラーホルダ用ホルダ
  • VAT社製ゲートバルブマウント用ホルダ

支持薄膜

各種支持薄膜および支持体の上にも形成が可能です。

  • 高分子膜サポートフィルタ
  • メッシュサポートフィルタ
  • SiNメンブレンサポートフィルタ
高分子膜サポートフィルタ
高分子膜サポートフィルタ
メッシュサポートフィルタ
メッシュサポートフィルタ
メンブレンサポートフィルタ
メンブレンサポートフィルタ

各種材料透過率の計算値(膜厚:100nm)

各種材料透過率の計算値(膜厚:100 nm)
各種材料透過率の計算値(膜厚:100 nm)


積層膜フィルタ、硬X線フィルタなどもございます。

 

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