EUV光学元件

提供高品质的EUV (极紫外线) /X射线聚光镜。本文介绍了多层膜镜和单层膜镜的制作实例。

提供面向EUV、VUV、软X线领域的高精度环形反射镜。请参阅制作示例和设计示例。

提供将EUV光与可见光和近红外光分离的分色镜。

提供具有任意透射率和反射率的EUV分束器。使用EUV分束器 (也称为EUV半反射镜) ，您可以将EUV光与可见光和紫外光一样分为透射光和反射光。

为VUV, EUV和软X射线区域提供模板结构衍射光栅。除了标准品，还可以提供特别订制的商品。

我们为您提供可以长焦聚光紫外光的镜头。

提供用于EUV区域和软X射线区域的反射型偏振器。请参阅设计示例。