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大功率雷射器用光束整形系統

可支持10 kW超高功率雷射器的反射型光束整形系統

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光束整形器特性

通常用於光束形狀轉換的透射式光束整形器(衍射光學元件:DOE)在應用於高功率雷射時,由於發熱的影響而無法保持其性能,其使用範圍受到限制。
NTT-AT的反射式光束整形器可以使用冷卻裝置直接冷卻元件,因此即使使用超過 10kW 的高功率雷射也能發揮性能。
特別是用於雷射加工應用時,它可以產生適合雷射加工的各種光束形狀,例如頂帽光束、環形光束、線光束或貝塞爾光束等非衍射光束。

波束成形原理
波束成形原理
ビームシェイパ表面の電子顕微鏡写真
表面SEM照片
  • 作為光束整形器發揮作用的DOE底板可從SiC、Si、金屬等中選擇。
  • 光利用率取決於表面深度的灰度。現在可以應對64灰度。
  • 根據客戶需求(波長、光源M2、入射角、焦距、成像模式)設計和制造束形器。

表面灰度與光利用效率的關係


表面諧調と光利用効率の図
 
表面深度灰度 光利用效率
16 93.1 %
8 81.6 %
4 53.2 %
2 30.9 %

應用梁整形器的示例

激光加工用反射型束形器

我們製造與超過 10kW 的高功率雷射相容的反射式光束整形器。
我們根據客戶的雷射規格(波長、光束形狀、單模、多模、光束尺寸等)和所需的輸出光束形狀來設計和製造圖案。
我們還可以根據要求提供單獨的安裝夾具。請隨時與我們聯繫。
成型後のビーム形状例の図
成型後的梁形狀示例:圓形 (圓環或頂帽) 、矩形、線、梁分叉等

激光加工的應用實例

廣泛應用於激光切割、鉆孔、焊接 (焊接) 、打印 (標記) 、退火 (退火) 和燒蝕。

用於長焦光束形成的反射型光束整形器

NTT-AT的反射光束整形器可實現自由波前設計。無需成像透鏡即可進行自由光學設計,並且可以產生貝塞爾光束和拉蓋爾高斯光束等非衍射光束。

下圖是貝塞爾光束的範例。產生焦點為 350mm 的貝塞爾光束,焦深超過 ±100mm。
即使在大氣湍流下,峰值強度變化也可以保持極小。

 

具有自由波前設計的反射型束形器

NTT-AT的反射光束整形器可實現自由波前設計。無需成像透鏡即可進行自由光學設計,並且可以產生任何光束形狀。
例如,來自光纖的漫射光 (5mmφ的高斯光束) 被輸入DOE,在前方350mm處生成土星 (環和中心亮點)、細長矩形、多光束等(以下是實際成像時的照片。)
根據客戶的要求設計光束圖案,並制造光束成形器。
 

規範示例

以下規範是一個示例。關於這以外的光束模式、光學設計、波長等也受理,請咨詢。
條目 規格 (示例)
梁形狀變換 Gausian→正方形 (頂帽)
激光波長 1064nm
激光功率 ~10kW※
入射束直徑 30mmφ
激光入射角 45°
冷卻容量 (100 mm見方) 300W
形狀 40 mm x 40 mm x 0.5 mm
材質 Si, SiC
聚光效率 無鏡頭:70%
有鏡頭:95%以上
如需其他基板,如石英和藍寶石,請聯繫我們。
* 如果激光功率超過 10kW,請聯繫我們。

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