fitur

Gambar SEM pelat zona Fresnel
Pada daerah sinar-X yang indeks bias bahannya kira-kira sama dengan 1, tidak seperti cahaya tampak, tidak mungkin memfokuskan cahaya dengan lensa cembung, sehingga pelat zona Fresnel (FZP) digunakan sebagai pemfokus. elemen.
FZP NTT-AT menggunakan pola Ta dengan vertikalitas tinggi sebagai bahan penyerap dan membran SiC dengan ketahanan iradiasi sinar-X yang tinggi sebagai bahan penahan, dan banyak digunakan pada fasilitas radiasi sinkrotron.
FZP NTT-AT menggunakan pola Ta dengan vertikalitas tinggi sebagai bahan penyerap dan membran SiC dengan ketahanan iradiasi sinar-X yang tinggi sebagai bahan penahan, dan banyak digunakan pada fasilitas radiasi sinkrotron.
Contoh produksi

FZP ultra-halus: diameter 250 µm, ketebalan film Ta 200 nm, lebar zona terluar 50 nm, ketebalan membran SiC 2,0 µm


FZP aspek tinggi: diameter 100 µm, ketebalan film Ta 2 µm, lebar zona terluar 200 nm, ketebalan membran SiN 2,0 µm
Spesifikasi tipikal
Kami akan mendesain sesuai dengan energi, panjang fokus, resolusi, dll yang Anda minta.
Spesifikasi tipikal | |
---|---|
Lebar zona terluar minimum dan rasio aspek | 50 nm (rasio aspek 4), 200 nm (rasio aspek 10) |
diameter maksimum | 2 mm |
bahan membran | SiC atau SiN, 0,2 µm - 2 µm |
bahan penyerap | Ta, 0.1 µm - 2.0 µm |
Si bingkai dimensi luar | Ketebalan 10 mm x 10 mm x 1 mm |

(a) Bagian FZP sinar-X (b) Membran SiC atau SiN (c) Substrat Si (d) Penyerap Ta
Bagian opsional

penghentian sinar tengah
Penyerap: Au, tebal 30 µm, membran: SiC
Penyerap: Au, tebal 30 µm, membran: SiC

lubang jarum
Bahan: PT, tebal 100 µm, diameter lubang jarum: 50 um
Bahan: PT, tebal 100 µm, diameter lubang jarum: 50 um
Silahkan hubungi kami
Jangan ragu untuk menghubungi kami untuk pertanyaan seperti perkiraan.