Beranda > Optik EUV, Optik sinar-X > Komponen optik sinar-X > Pelat zona Fresnel sinar-X

Pelat zona Fresnel sinar-X

Kami menawarkan pelat zona Fresnel sinar-X yang sangat tahan terhadap iradiasi yang terbuat dari membran SiC dan penyerap Ta.

Pertanyaan dalam bahasa Inggris

fitur

画像
Gambar SEM pelat zona Fresnel
Pada daerah sinar-X yang indeks bias bahannya kira-kira sama dengan 1, tidak seperti cahaya tampak, tidak mungkin memfokuskan cahaya dengan lensa cembung, sehingga pelat zona Fresnel (FZP) digunakan sebagai pemfokus. elemen.
FZP NTT-AT menggunakan pola Ta dengan vertikalitas tinggi sebagai bahan penyerap dan membran SiC dengan ketahanan iradiasi sinar-X yang tinggi sebagai bahan penahan, dan banyak digunakan pada fasilitas radiasi sinkrotron.

Contoh produksi

制作例画像
FZP ultra-halus: diameter 250 µm, ketebalan film Ta 200 nm, lebar zona terluar 50 nm, ketebalan membran SiC 2,0 µm
制作例画像
制作例画像

FZP aspek tinggi: diameter 100 µm, ketebalan film Ta 2 µm, lebar zona terluar 200 nm, ketebalan membran SiN 2,0 µm

Spesifikasi tipikal

Kami akan mendesain sesuai dengan energi, panjang fokus, resolusi, dll yang Anda minta.

  Spesifikasi tipikal
Lebar zona terluar minimum dan rasio aspek 50 nm (rasio aspek 4), 200 nm (rasio aspek 10)
diameter maksimum 2 mm
bahan membran SiC atau SiN, 0,2 µm - 2 µm
bahan penyerap Ta, 0.1 µm - 2.0 µm
Si bingkai dimensi luar Ketebalan 10 mm x 10 mm x 1 mm
構造図
(a) Bagian FZP sinar-X (b) Membran SiC atau SiN (c) Substrat Si (d) Penyerap Ta
 

Bagian opsional

写真
penghentian sinar tengah
Penyerap: Au, tebal 30 µm, membran: SiC
写真
lubang jarum
Bahan: PT, tebal 100 µm, diameter lubang jarum: 50 um

Silahkan hubungi kami

Jangan ragu untuk menghubungi kami untuk pertanyaan seperti perkiraan.

Pertanyaan dalam bahasa Inggris

Lini Produk

merapatkan

Daftar layanan

merapatkan

Daftar proposal untuk pemecahan masalah

merapatkan

Daftar katalog

merapatkan