Cermin EUV / Cermin sinar-X lembut

fitur

Cermin multilayer Mo/Si

Kami menyediakan cermin EUV yang memantulkan cahaya EUV dengan energi foton 10 eV - 1 keV (panjang gelombang 120 nm - 1,2 nm) dengan efisiensi tinggi. Cermin pita energi ini, juga disebut sinar-X lembut atau sinar XUV, digunakan dalam berbagai bidang seperti aplikasi industri seperti litografi EUV, penelitian fisik dan kimia berkecepatan sangat tinggi menggunakan harmonik orde tinggi, aplikasi astrofisika, dan pengamatan plasma sinar-X lunak
Cermin film multilayer terutama digunakan untuk kejadian langsung, dan cermin film satu lapis terutama digunakan untuk kejadian miring.

Contoh desain

Cermin multilayer Mo / Si, sudut datang 0 derajat

Cermin satu lapis ru, sudut datang 80 derajat

Lihat contoh desain cermin multilayer di setiap rentang energi ↓
Lihat contoh desain cermin satu lapis di setiap rentang energi ↓

Spesifikasi tipikal

Kami akan merancang bentuk dan lapisan substrat sesuai permintaan Anda.

	Spesifikasi tipikal
Ukuran maksimum	Diameter 3mm - 450mm
bentuk cermin	Pesawat, Cekung, Silinder, Parabola, Bulat, Toroidal
bahan multilayer	Ru/B₄C, Mo/Si, Zr/AlSi, SiC/Mg, W/B₄C
bahan lapisan tunggal	Ru, B₄C, C, Ni, Au

Unduh materi

Multilayer Coating for Extreme Ultraviolet Experiments (Bahasa Inggris, white paper)	615KB	unduh

Cermin EUV / Cermin sinar-X lembut Daftar literatur terkait (Bahasa Inggris)	215KB	unduh

Contoh desain cermin multilayer EUV

Ini adalah contoh desain cermin multilayer untuk 20 eV - 150 eV (panjang gelombang 60 nm - 8 nm).

Cermin multilapis Ru/B₄C (150 eV - 100 eV)

untuk 150 eV

Reflektansi: 33%, Bandwidth: 3,1 eV

Reflektansi: 31%, Bandwidth: 1,9 eV

untuk 120 eV

Reflektansi: 40%, Bandwidth: 2,2 eV

Reflektansi: 40%, Bandwidth: 4,5 eV

untuk 100 eV

Reflektansi: 41%, Bandwidth: 3,3 eV

Reflektansi: 41%, Bandwidth: 6,6 eV

Cermin multilapisan Mo/Si (95 eV - 70 eV)

untuk 90 eV

Reflektansi: 68%, Bandwidth: 3,5 eV

Reflektansi: 67%, Bandwidth: 6,1 eV

untuk 80 eV

Reflektansi: 61%, Bandwidth: 3,1 eV

Reflektansi: 60%, Bandwidth: 7,7 eV

Cermin multilapisan Zr/AlSi (70 eV - 50 eV)

untuk 70 eV

Reflektansi: 59%, Bandwidth: 2,8 eV

Reflektansi: 59%, Bandwidth: 4,4 eV

untuk 60 eV

Reflektansi: 49%, Bandwidth: 3,3 eV

Reflektansi: 49%, Bandwidth: 6,3 eV

untuk 50 eV

Reflektansi: 32%, Bandwidth: 4,9 eV

Reflektansi: 32%, Bandwidth: 9,6 eV

Cermin multilapis SiC/Mg (45 eV - 20 eV)

untuk 40 eV

Reflektansi: 48%, Bandwidth: 2,5 eV

Reflektansi: 48%, Bandwidth: 3,0 eV

untuk 30 eV

Reflektansi: 44%, Bandwidth: 3,1 eV

Reflektansi: 45%, Bandwidth: 3,8 eV

untuk 20 eV

Reflektansi: 41%, Bandwidth: 3,1 eV

Reflektansi: 46%

Spesifikasi produk standar cermin multilapis EUV

Model standar	EUVML-(a)-(b)-(c)-(d)-(e)(f)
(a) Bahan film berlapis-lapis	Ru/B₄C, Mo/Si, Zr/AlSi, SiC/Mg
(b) Jenis reflektif	H: Reflektivitas Tinggi, N: Narrowband, B: Broadband
(c) Sudut datang	0 derajat - 60 derajat
(d) energi pusat	20 eV - 150 eV (60 nm - 8 nm)
(b) Ukuran substrat	1025: diameter 1 inci x tebal 0,25 inci 0525: diameter 0,5" x tebal 0,25".
(c) Jenis substrat	F : datar, C : cekung (radius kelengkungan 100 mm - 3000 mm)

Contoh desain cermin film lapisan tunggal EUV

Ini adalah contoh desain cermin satu lapis untuk 10 eV - 1 keV (panjang gelombang 120 nm - 1,2 nm).

Au cermin

Ni cermin

Ru cermin

SiC cermin

B₄C cermin

Spesifikasi produk standar cermin lapisan tunggal EUV

Model standar	EUVSM-(a)-(b)(c)
(a) Bahan pelapis	Au, Ni, Ru, B₄C, SiC
(b) Ukuran substrat	1025: diameter 1 inci x tebal 0,25 inci 0525: diameter 0,5" x tebal 0,25".
(c) Jenis substrat	F : datar, C : cekung (radius kelengkungan 100 mm - 3000 mm)

Silahkan hubungi kami

Jangan ragu untuk menghubungi kami untuk pertanyaan seperti perkiraan.

Pertanyaan dalam bahasa Inggris

Kami menyediakan cermin multi-layer dan cermin single-layer untuk EUV.