薄膜形成サービス

マグネトロンスパッタリング、電子ビーム蒸着、メッキなどの成膜方法を使用して、薄膜形成サービスを行っています。
作製した薄膜は、光、バイオ、X線などさまざまな分野で用いられています。
また、複数材料の薄膜を数層から数百層積層する多層膜を利用したX線反射鏡、深さ方向分析用標準試料なども取り扱っています。

薄膜形成サービス

スパッタリング、蒸着等により各種薄膜を形成いたします。
基板サイズはφ8インチ程度まで対応いたします。　また、各種特殊基板にも対応いたします。

堆積可能な材質

周期律表の■色の各種材料（元素単体、化合物、合金）の成膜を行っています。
その他、掲載されていない材料についても検討可能です。

薄膜評価例

複数材料による積層膜例

• EUVミラー、軟X線ミラー、硬X線ミラー
• 深さ方向分析用標準試料
• 微細ビーム幅計測用スケール