薄膜形成・加工サービス

マグネトロンスパッタリング、イオンビームスパッタリング、 電子ビーム蒸着、メッキなどの成膜方法を使用して、薄膜形成サービスを行っています。
作製した薄膜は、光、バイオ、Ｘ線などさまざまな分野で用いられています。
また、複数材料の薄膜を数層から数百層積層する多層膜を利用したＸ線反射鏡、深さ方向分析用標準試料、機能性薄膜なども取り扱っております。Ｘ線フィルターに用いられる金属メンブレン、Ｘ線解像度評価試料など薄膜パターニング加工品を扱っています。

少量試作から量産まで、お客様の御要望に応じた対応をさせて頂きます。また、工程途中部分のみのプロセスや、マスク設計、その他新規薄膜素子受託開発もお引き受けいたします。

薄膜形成サービス

スパッタリング、蒸着等により各種薄膜を形成させて頂きます。

基板サイズはφ12インチ程度までご対応させて頂きます。　また、各種特殊基板にも対応させて頂きます。

堆積可能な材質

周期律表の 色の各種材料（元素単体、化合物、合金）の成膜を行っています。
その他掲載されていない材料についても検討させて頂きます。

薄膜評価例

複数材料による積層膜例

• EUVミラー、軟X線ミラー、硬X線ミラー
• 深さ方向分析用標準試料
• 微細ビーム幅計測用スケール