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走査電子顕微鏡 SEM

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極微細構造の形態観察、故障箇所の観察を行います。SEMでの観察には前処理が必要になります。微小部の断面作製や低損傷での断面作製技術を得意としております。

SEM観察とは?

二次電子や反射電子を用いる、試料の微小表面や断面の観察等に広く用いられ る手法です。
一般的ではありますが、優れた高分解能像を得るには適切な前処理、観察条件等ノウハウが必要です。

■ SEM観察における前処理について

処理方法 用途
FIB集束イオンビーム 微小部断面作製
CP クロスセクションポリッシャ 低損傷断面作製
(大気非暴露、試料冷却機能付)
精密研磨機 垂直研磨・水平研磨
Osコーター 導電性超薄膜作製

適用例(観察例)


硬軟複合材料の界面観察技術
ガラス(硬質層)に液晶(軟質層)が挟まれた構造の試料について、当社で開発した特殊な切断手法により断面作成して観察した例で、軟質層の断面構造を観察
Co-Cr合金薄膜の微細偏析構造
Co-Cr合金磁性薄膜は、結晶粒内に微細な組成分離構造を有する事が知られています。この微細偏析構造を超高分解能で観察しました。
n-InGaAsP/InP 周期構造
TEMによる観察では、試料処理に時間と労力がかかりますが、へき開した断面を軽くエッチングしただけの試料での観察例。
 
金属材料のEBSD分析
走査電子顕微鏡による結晶解析の手法として広く知られています。
 
 
 
 

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