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形態観察

デバイス、材料の形態・構造、組成評価

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分析手法 得られる情報 適用例 面分解能
TEM
透過電子顕微鏡
断面構造 半導体素子の断面観察、FFTマッピングによる歪み解析 0.2nm
SEM
走査電子顕微鏡
表面形状観察 部品欠陥部の詳細形状観察 2nm
FE-TEM
電子顕微鏡
極性 GaNの極性判定  
FIB-SEM 内在する空洞や欠陥等の情報 多孔質セラミックの欠陥解析  
XRD
X線回折
構造回折 物質同定、粒径測定、格子定数測定、結晶性評価 >10μm
AFM
原子間力顕微鏡
表面微小凹凸観察 シリコンのマイクロラフネス測定 数nm

分析手法と検出感度、サイズ(イメージ)

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