積層断面構造をSEM観察するには材料の種類によって種々の切断法が用いられています。
積層構造が硬質層と軟質層から成る場合には、破断や劈開では界面付近に段差が出来てしまったり、研磨では軟質層の構造が壊れてしまい、層構造の観察は困難となります。
写真は、ガラス（硬質層）に液晶（軟質層）が挟まれた構造の試料について、当社で開発した特殊な切断手法により断面作成して観察した例で、軟質層の断面構造が観察できており、またガラス板（硬質層）と液晶断面（軟質層）の界面の情報も得られております。
特徴
- 硬質材料と軟質材料の界面観察が可能
- 短時間での断面観察試料作成
- 断面位置を1mm単位で選択可能
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