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Si表面の単原子ステップの断面構造観察

原子オーダでのTEM観察

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Si表面を高真空中熱処理すると、処理条件に応じて単原子のステップやステップが集まった(バンチング)段差が生じます。ステップ、段差はSTMやAFMあるいは、表面SEMで観察されますが、注意深く作製した断面試料を高分解能TEM観察することによりステップの断面構造を原子オーダで観察することができます。

写真はバンチングによって生じた階段構造を、高分解能で観察した例です。

段階構造50nm

 

段階構造2nm


 

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