私たちNTTアドンバンステクノロジ（NTT-AT)の分析サービスは、NTT研究所で長年培ってきた材料分析のノウハウを持ち、特に半導体や燃料電池関連材料・素材分析、クリーンルーム環境評価、通信インフラ設備関連の分析を得意としています。
目的に応じた多彩なサービスラインナップで、お客様の研究開発をサポートします。
分析手法の検出感度とサイズ（イメージ）
下図の、各分析手法の名称にマウスを合わせると、その分析の対象サイズが表示されます。クリックすると、各分析の詳細ページに移動します。
※ スマートフォンやタブレットでは正しく動作しない場合があります。
形態観察
デバイス、材料の形態・構造、組成評価
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| 分析手法 | 得られる情報 | 適用例 | 面分解能 |
|---|---|---|---|
|
TEM 透過電子顕微鏡 |
断面構造 | 半導体素子の断面観察、FFT | 0.2nm |
| FIB-SEM | 内在する空洞や欠陥等の情報 | 多孔質セラミックの欠陥解析 | |
|
SEM 走査電子顕微鏡 |
表面形状観察 | 部品欠陥部の詳細形状観察 | 2nm |
|
AFM 原子間力顕微鏡 |
表面微小凹凸観察 | シリコンのマイクロラフネス測定 | 数nm |
表面分析
どのような分析でも測定条件や前処理を含めた「ノウハウ」が必要です。弊社ではお客様の分析の目的、試料の状態、解像度や検出感度など種々の条件にあわせ最適な分析手法をご提案し、本来の試料情報を反映した解析を行うことに強みがあります。
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| 分析手法 | 得られる情報 | 適用例 |
分析元素と 検出限度濃度 |
深さ分解能と 面分解能 |
|---|---|---|---|---|
|
SIMS 二次イオン質量分析 |
不純物の濃度を高感度に得たい | ドーパントの深さ分布 |
H～U ppb～ppm |
数～数10nm 1～数10μm |
|
XPS X線光電子分光分析 |
表面組成や化学状態 | 表面の酸化状態、表面汚染 |
Li～U 0.1～1% |
>2nm >30μm |
|
AES オージェ電子分光分析 |
構造の深さ情報 微小部の元素分析 |
薄膜の構造、異物の定性 |
Li～U 0.1～1% |
>2nm >15nm |
化学分析
主な保有装置
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| 分析手法 | 得られる情報 | 適用例 | 分析元素 | 検出限度濃度 |
|---|---|---|---|---|
|
ICP-MS 誘導結合プラズマ質量分析 |
高感度元素分析 ・溶液の分析 ・破壊分析 |
Siウェハ上の微量金属、環境中の微量金属・純水中の不純物分析 | ハロゲン、不活性ガス、H,C,N,Oを除く元素 |
ppt～ （測定対象による） |
|
IC イオンクロマトグラフ分析 |
高感度な溶液の分析 イオンの定性、定量分析 |
クリーンルーム雰囲気調査 | 陰イオン、陽イオン、有機酸イオン |
ppt～ppm （測定対象による） |
|
TXRF 全反射蛍光X線分析 |
高感度元素分析 ・非破壊 ・非接触 |
ウェハ表面の汚染 Si基板以外の化合物半導体（ｻﾌｧｲｱ、SiC、GaNなど) |
Na～U | 109atoms/cm2 |
|
GC-MS ガスクロマトグラフ質量分析 |
有機化合物の定性・定量、 構造解析 |
有機化合物の同定、構造決定、CR中の有機物分析 | ハロゲン、不活性ガス、H,C,N,Oを除く元素 |
ppb～ （測定対象による） |
|
XRF 蛍光X線分析 |
元素分析 | 薄膜・粉体・バルク組成定性分析 | B～U | ～0.01％ |
|
ICP-AES ICP発光分析 |
微量元素分析、 多元素分析 |
各種材料、薄膜の組成分析 | ハロゲン、不活性ガス、H,C,N,Oを除く元素 |
ppb～ （測定対象による） |
試験特性評価
光通信材料の光学特性や材料のガス透過性、粘弾性、熱物性・粉体特性の評価・測定を行っております。
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| 分析内容 | 得られる情報 |
|---|---|
| ガス透過性 | （ガス・水蒸気）透過度 |
| 粘弾性 | 動的粘弾性（引張、曲げ、ねじり）、溶融粘弾性 |
| 熱物性 | 材料のガラス転移点、熱量・重量変化 |
| 粉体特性 | 比表面積（BET法）、粒度分布（レーザー回折法・動的光散乱法）、細孔分布 |
| エンドトキシン分析 （別ウインドウで外部サイトを表示します） | エンドトキシン濃度 |
分析の流れ
NTT-ATの材料分析センタでは、単なる分析データの提供に留まらずお客様の問題提起を基に、共に検討させていただきながら最適の手法による問題解決法を提案いたします。
Step1 お問合せ(問題提起)
材料評価で問題があればなんでもご相談ください！ お問合せフォーム、お電話にてお気軽にご相談ください。 差し支えない範囲で試料名、試料形状、構成等を教えてください。
Step2 アイディアの提出
お客様からの課題、試料等に基づいて、最適な分析手法をご提案します。 ご要望に応じて守秘協定を締結させていただきます。
Step3 アイディアの検討
お客様の材料評価への要望（ニーズ）は単なる素材の分析にだけではなく、新材料の開発から工程の信頼性評価までと広範囲にわたっています。
Step4 見積&計画(ご提案)
納期、料金、分析までのスケジュールなどをお見積いたします。 事前のお試しが必要な場合は、あらかじめ、お試し分析を行うこともあります。
Step5 契約
お見積内容にご不明な点がございましたらお気軽に営業担当まで一報ください。ご発注の後、分析を実施させていただきます。
Step6 結果報告
分析実施の後、分析結果レポートを納品書と受領書と ともに納品させていただきます。ご要望に応じて、納品前に結果を電子メールにて速報いたします。
Step7 お支払い
納品時に添付された受領書に押印の上、ご返却ください。分析費用をご請求させていただきます。 お支払いは原則として銀行振込の月末締め翌月末払いとなります。
まずはお問い合わせください。
お客様のさまざまな課題解決を、私たちの分析サービスがお手伝いします。
右下のお問い合わせボタンよりお問い合わせください。
※ 海外からのご依頼の場合、輸送や技術輸出の関係で対応ができない場合があります。
ロケーション情報
NTT厚木研究開発センタ内（地図はこちら）所在地 〒243-0124 神奈川県厚木市森の里若宮3-1
最寄駅 本厚木駅 ／ 愛甲石田駅（小田急線）
その他のロケーション（本社等）情報はこちら
主な公的資格
- 計量証明事業所：振動加速度レベル
- 作業環境測定指定機関登録
その他の認証・公的資格はこちら
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