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誘導結合プラズマ発光分光分析法 ICP-AES

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発光線の波長と強度から元素の種類・量を調べることができます!

例えば、こんな分野にお使いいただけます。

薄膜の組成分析・バルクの組成分析・不純物分析 
鉄鋼、非鉄金属、セラミックス、石油化学、半導体、電池材料など
環境試料中の元素分析
水質、土壌、大気粉じんなど

このような分析方法でのお悩みはありませんか?

もっと信頼性の高い結果が欲しい。
定量・定性両方の結果が欲しい。
ppb~ppmレベルの分析がしたい。

誘導結合プラズマ発光分析法なら...

多元素同時分析が出来ます。
機器分析では得ることが難しい絶対量を求める事が出来ます。
化学的な前処理により、一般的な物理的手法を用いる機器よりも信頼性が高い結果が得られます。
溶液中ppb~ppmレベルの分析が可能です。
元素固有の波長による定性分析が可能です。

発光線の波長と強度から元素の種類・量を調べることができます!

溶液中の無機元素の定性と定量を行うことができます。
また、化学的な前処理を行い溶液化するため、物理的な手法を用いる機器分析に比べて、信頼性の高い定量結果が得られます。

分析の流れ図

発光した発光線の波長から元素の種類を同定し、発光強度から元素の量を調べることができます。
1.試料を溶液調整

2.試料溶液をネブライザーへ導入

3.Arプラズマ中で試料成分元素(原子)が励起

4.励起元素が基底状態に戻る際に発光

5.分光器で発光を検出し定性・定量  

分析事例

分析事例1 薄膜材料(BPSG膜)の組成分析

ICP発光分光分析(ICP-AES)応用例 BPSG膜の高精度な評価ができます!
薄膜の組成を精度良く、絶対量を評価できます。
薄膜の平均的な組成情報を得る事ができます。
蛍光X線分析、IR分析などの簡易測定の標準試料の分析に活用できます。

分析手順

  1. 試料切断ウエハより適切な大きさ (9cm2程度)を分析用に切出す
  2. 膜溶解 (+添加剤)と加熱濃縮B、Siの揮散を防ぐ添加剤と共にBPSG膜を溶解・濃縮
  3. 定容とICP-AES測定 試料溶液をICP-AESによるB、P、Siを測定

高精度:蛍光X線分析との相関が高い

下図は蛍光X線分析とICP-AES分析の相関図です。 繰り返し測定精度の高い蛍光X線分析と絶対量の得られるICP-AES分析の結果は、一次関数の直線上に乗る良好な結果が得られています。
ICP-AESとXRFの相関図
ICP-AESとXRFの相関図
層間絶縁膜であるBPSG(Boron Phosphor Silicate Glass)膜の組成は組成はリフローによる熱特性に大きく影響を及ぼすことから、精度の高いICP-AES分析は膜組成の評価に適しています。

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