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ウエハ表面の汚染元素マッピング (Sweeping-TXRF)

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全反射蛍光X線分析応用例
詳細なマッピングデータからウエハの汚染分布を明らかにします!

汚染の分布と量が同時に分かります

一般的にウエハの汚染元素分析は5点程の測定で評価するため、汚染の全体像は見えません。
測定図


図1.通常測定
(φ200mm Siウエハ 5点測定)

※ ウエハエッジから約20mmの範囲(グレーハッジ)については測定対象外となります。
矢印

Sweeping-TXRFでは、ウエハ表面を広範囲に分析することで
汚染分布と汚染量を同時に評価することができます。

測定図
図2.Sweeping測定-dot図(Mg, Zn, Au)
(φ200mm Siウエハ169点測定)
図3.Sweeping測定-mapping図(Mg, Zn, Au)
(φ200mm Siウエハ169点測定)

 

Sweeping-TXRFなら

面で分析

  • ウエハ表面を広範囲に測定し、汚染分布の確認ができます。
  • 各測定点の汚染強度から汚染元素マッピング図を作成します。
  • ウエハサイズは φ150mm~φ300mm に対応。測定点数は任意に選択できます。
    (それ以外のサイズについてはご相談ください。また、測定点を任意で設定する場合はお時間をいただきます。)
  • 測定点はSEMI standardに対応。
    Concentric circle(同心円)グリッド、Cartesian(直交)グリッド、Single-diameter(単直径)グリッドをご用意しています。

迅速

  • 高スループットを実現、迅速に対応します。

高感度

  • 1010 atoms/cm2 ~ オーダーの高感度です。
  • 得られた結果を元に、通常の全反射蛍光X線分析(Direct-TXRF)でさらに高精度な分析もできます。

 

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