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化学分析

ppbからpptオーダーの極微量元素・イオンの定量分析、金属、セラミックス、半導体の組成・不純物の分析

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分析手法 得られる情報 適用例 分析元素 検出限度濃度
ICP-MS
誘導結合プラズマ質量分析
高感度元素分析
・溶液の分析
・破壊分析
Siウェハ上の微量金属、環境中の微量金属・純水中の不純物分析 ハロゲン、不活性ガス、H,C,N,Oを除く元素 ppt~
(測定対象による)
IC
イオンクロマトグラフ分析
高感度な溶液の分析
イオンの定性、定量分析
クリーンルーム雰囲気調査 陰イオン、陽イオン、有機酸イオン ppt~ppm
(測定対象による)
TXRF
全反射蛍光X線分析
高感度元素分析
・非破壊
・非接触
ウェハ表面の汚染
Si基板以外の化合物半導体(サファイア、SiC、GaNなど)
Na~U 1010atoms/cm2
GC-MS
ガスクロマトグラフ質量分析
有機化合物の定性・定量、
構造解析
有機化合物の同定、構造決定、CR中の有機物分析 ハロゲン、不活性ガス、H,C,N,Oを除く元素 ppb~
(測定対象による)
XRF
蛍光X線分析
元素分析 薄膜・粉体・バルク組成定性分析 B~U ~0.01%
ICP-AES
ICP発光分析
微量元素分析、
多元素分析
各種材料、薄膜の組成分析 ハロゲン、不活性ガス、H,C,N,Oを除く元素 ppb~
(測定対象による)

主な保有装置

分析手法選択の参考になさってください。

 

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SiC(炭化ケイ素)基板表面上の極微量金属汚染分析
弊社ではSiC(炭化ケイ素)基板表面の極微量金属汚染を全反射蛍光X線分析(TXRF)、誘導結合型プラズマ質量分析(ICP-MS)にて迅速、高感度に評価出来ます。
Siウエハ表面上の金属汚染分析
貴金属元素を対象とした汚染評価において、回収が難しいとされる金(Au)、銀(Ag)、銅(Cu)やパラジウム(Pd)、白金(Pt)、ロジウム(Rh)、イリジウム(Ir)、ルテニウム(Ru)などの貴金属元素を、高い回収率で回収する技術を確立しています。
Siウエハ、フォトマスク基板表面に付着したイオン成分の評価
基板表面に付着したイオン成分の評価を行います。
クリーンルームエアの分析
クリーンルーム空気中の分子状汚染物質(AMC)の調査を行います。
環境調査・汚染調査サービス
放射性物質や有害物質で汚染されていないかチェックを行います。
■調査メニュー
放射性物質、水質調査、 大気調査、 土壌調査、 騒音・振動調査、 悪臭調査、 作業環境測定、 アスベスト調査

分析手法と検出感度、サイズ(イメージ)

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    デバイスや材料の形態・構造、および結晶構造解析を行っております
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